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北京杰瑞恒达科技有限公司
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产品介绍
电子薄膜应力分布测试仪
产品概述详细
电子薄膜应力分布测试仪产品主要应用在微电子、光电子生产线上和科研、教学等领域Si、Ge、GaAs等半导体基片及电子薄膜应力分布、光学零件面形和平整度面形、基片曲率
半径测量测试。该仪器总测量点数多, 能给出全场面型分布结果, 适合于微电子生产线上产品质量的快速检验和微电子生产工艺研究。
仪器基于干涉计量的全场测试原理, 可实时观测面型的分布, 迅速了解被测样品的形貌及应力集中位置, 及时淘汰早期失效产品。
产品特点
错位相移技术 |
计算机自动条纹处理 |
测试过程全自动 |
先进的曲面补偿测试原理 |
主要技术指标
大样品尺寸 | ≤100mm （4英寸） |
曲率范围 | |R|≥5米 |
测试精度 | 5% |
单片测量时间 | 3分钟/片 |
结果类型 | 面形、曲率半径、应力分布、公式表示、数据表格 |
图形显示功能 | 三维立体显示、二维伪彩色显示、单截面曲线显示 |
电源 | AC 220V±10%, 50Hz±5% |
zui大功耗 | 100W |
外型尺寸（L×W×H） | 285mm×680mm×450mm |
重量 | 36kg |
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