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上海锦流源电子仪器有限公司
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OctivSingle Frequency VI Probe 单频VI 探测器（）为我公司专业销售。：
OctivÔ 是一种单频VI 探测器，用于测量等离子腔体射频源的电压、电流、相位、谐波、真实功率、入射功率和反射功率。包含一个射频VI传感器和高速的数据采集系统，利用高速数字傅里叶变换可以高度精确的测量基础射频电压、电流和相位。
1）测量：电压, 电流, 相位；真实、入射、反射功率；阻抗；谐波成分。
2）显示：表图显示参数；史密斯圆图；谐波图；时间趋势图。
范围 分辨率* 精确度* 功率 2.5kW 电压；电流 相位 ± 0.25V；± 5.0mA ± 0.01° 电压；电流 相位；功率 ± 1%；± 1% ± 1%；± 1% 频率 13.56MHz +/- 0.5MHz 更多可用范围： 传感器频率范围： （400k 功率可达 5kW 采样率 1-10Hz 电压 0 - 3000 Vrms 传感器阻抗 50 Ohms 电流 0 - 50 Arms 尺寸 70/70/ 介入损失 0.05dB 相位 -90° -> + 90° 重量 * at 13.56MHz,300W,50Ωload,
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