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喜开理(上海)机器有限公司
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采用金属膜片的工艺气体用阀的核心产品。除单体、集成型外,还备有3通阀、2连3通阀等种类丰富的产品。行业化学气体供给设备用元件化学液体供给设备用元件半导体制造工序(前工序)氮气清洗关联元件
【标准型】
耐久性:100万次(实测值400万次)
适用于集成化供气系统(1.5inch, 1.125inch)
【内部密封性能大幅提升】
通过密封结构和表面精度的提高,减少颗粒的产生。
型号 | 名称 | 配管方式 | 动作方式 | 备注 |
---|---|---|---|---|
AGD0※R-4RM | 工艺气体用气控阀 | 1/4"JXR公接头 | NC型, NO型 | |
AGD0※R-4R | 工艺气体用气控阀 | 1/4"JXR母接头 | NC型, NO型 | |
AGD1※R-4RM | 工艺气体用气控阀 | 1/4"JXR公接头 | NC型, NO型 | |
AGD1※R-4R | 工艺气体用气控阀 | 1/4"JXR母接头 | NC型, NO型 | |
AGD1※R-4S | 工艺气体用气控阀 | 1/4"双卡套接头 | NC型, NO型 | |
AGD2※R-6RM | 工艺气体用气控阀 | 3/8"JXR公接头 | NC型, NO型 | |
AGD2※R-6R | 工艺气体用气控阀 | 3/8"JXR母接头 | NC型, NO型 | |
AGD2※R-6S | 工艺气体用气控阀 | 3/8"双卡套接头 | NC型, NO型 |
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