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喜开理(上海)机器有限公司
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实现高速且稳定响应性的小型发生器单元。小型、轻量,尤其实现了高度尺寸的紧凑化。【喷嘴直径】0.4, 0.5, 0.6 (㎜)【吸入流量(L/min(ANR))】2~9.5行业半导体制造工序(后工序)
【小型、轻量】
于安装空间有限的客户。
产品高度紧凑化。
【高速且稳定的响应性】
主阀采用直动阀,实现高速且稳定的响应性。
(ON/OFF=5㎜/sec以下)
【4种压力传感器】
压力传感器备有4种模拟输出类型。
型号 | 名称 | 喷嘴直径 | 备注 |
---|---|---|---|
VSN-H | 单品型・高真空・中流量型 | Φ0.4, Φ0.5, Φ0.6 | |
VSN-E | 单品型・高真空・小流量型 | Φ0.4, Φ0.5, Φ0.6 | |
VSNM-H | 集成型・高真空・中流量型 | Φ0.4, Φ0.5, Φ0.6 | |
VSNM-E | 集成型・高真空・小流量型 | Φ0.4, Φ0.5, Φ0.6 | |
VSNM-Z | 集成型・混合规格 | - |
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