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喜开理(上海)机器有限公司
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每1连阀上配备2个3通阀,减少了安装空间。进、排气口的取出位置可选择,提高了配管的自由度。【适用缸径:Φ4~Φ16】行业半导体制造工序(前工序)化学液体供给设备用元件化学气体供给设备用元件氮气清洗关联元件
【小形化】
直接安装时高34mm。
DIN导轨安装时高39mm。
也可安装在狭窄空间。
【可面板安装】
进、排气口的取出位置可选择,提高了配管的自由度。
【扁平电缆、D-Sub接插件】
接插件的取出方向可从上方、横向中选择。
型号 | 名称 | 安装方式 | 配管口径 | 备注 |
---|---|---|---|---|
N3Q0660 | 阀模块单体 | DIN导轨安装方式 | 快插接头Φ1.8, Φ3, Φ4, M5 | |
MN3Q0660 | 模块集成阀 | DIN导轨安装方式 | 快插接头Φ1.8, Φ3, Φ4, M5 | |
MT3Q0660 | 模块集成阀 | 直接安装方式 | 快插接头Φ1.8, Φ3, Φ4, M5 |
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