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喜开理(上海)机器有限公司
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省空间且提高了维护性的工艺气体供给系统。从设计到制作均可根据客户需要的流程进行。1.125inch、采用W密封。行业半导体制造工序(前工序)化学气体供给设备用元件
【集成单元】
通过紧凑集成标准化部件,构建工艺气体供气线。
实现了可高速置换工艺气体和惰性气体的理想流路。
从设计到装配、检查完成后交付,可减少客户的工时。
型号 | 名称 | 内容 | 尺寸 | 配管方式 | 备注 |
---|---|---|---|---|---|
IAGD5 | 集成化供气系统 | - | - | W密封 | |
MAGD5-R | 集成化供气系统用元件 | 气控阀 | 1.125inch | - | |
MMGD5-R | 集成化供气系统用元件 | 手动阀 | 1.125inch | - | |
MFGD5 | 集成化供气系统用元件 | 流量调节阀 | 1.125inch | - | |
MCPG5 | 集成化供气系统用元件 | 单向阀 | 1.125inch | - |
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