增量式检测方式只测量位移增量，并用数字脉冲的个数来表示单位位移的数量，每移动一个测量单位就发出一个测量信号。其优点是检测装置比较简单，任何一个对中点都可以作为测量起点。但在此系统中，移距是靠对测量信号累积后读出的，一旦累计有误，此后的测量结果将全错。另外在发生故障时不能再找到事故前的正确位置，事故排除后，必须将工作台移至起点重新计数才能找到事故前的正确位置。一个是主轴伺服电机自身的主轴编码器实现速度反馈，一个是主轴上的编码器实现主轴任意角度位置反馈。