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等离子体诊断设备SemionTM离子能量/离子流量分析仪（减速场能量分析仪）
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- 上海锦流源电子仪器有限公司
- 2018-05-15 13:32:40
- 1965
【简单介绍】
等离子体诊断设备SemionTM离子能量/离子流量分析仪（减速场能量分析仪）用于测量在等离子体腔体中偏压表面的离子能量和离子流量。SemionTM 系统包括减速场能量分析（RFEA）多栅探测器、腔体整体连接装置和电子控制单元，可安装于多种等离子源结构，如电容耦合、电感耦合、磁电管、级联电弧和远程源等。
【详细说明】
等离子体诊断设备SemionTM离子能量/离子流量分析仪（减速场能量分析仪）
SemionTM 减速场能量分析仪一大特色就是能够在射频偏压表面上放置RFEA探测器（类似于硅片），可随着电极移动，用以测量该表面的离子流量和离子能量。
主要特点和参数：
? RFEA探测器可安装于基片上；
? 原位测量 ：离子能量分布；离子流量；离子电流；电子流量和能量；
? 压力高达300mT的条件下可测得的能量达500eV；
? 脉冲体系中，时间分辨测量能力可达500kHz，时间间隔为44nS；
? 等离子体悬浮电位测量调节功能；
? 便携配置允许一个系统分析多个腔体；
应用领域：
等离子体工艺研究 ；真空镀膜 ；等离子体表面工程 ；半导体 ；太阳能/薄膜；