【简单介绍】
【详细说明】
OX400氧化锆氧分析仪
产品信息
横河电机推出的氧分析仪OX400,是公司在该技术的*经验积累和优秀业绩基础上研发出来的。低浓度氧化锆氧分析仪OX400的氧化锆传感器中采用了新型薄膜沉积技术,在氧化锆元素和铂层间建立了分子联接。这样不仅预防剥离,还可以减小传感器尺寸,确保高速响应和长寿命。低浓度氧化锆氧分析仪OX400可用于控制和监视各种半导体应用,并控制环境,空气泄漏入惰性气体及其他过程。
- 用于半导体扩散炉和烘干炉,以及LCD制造工艺中的氧气浓度控制
-用于控制锡焊炉气流和回流炉中气体的氧气浓度,以及电子制造中使用的手套箱和气体生
产工艺中氧气浓度的测量
-测量氧气浓度,防止粉尘运输中粉尘爆炸
特性
使用寿命长,响应速度快
- 由于使用了横河电机的新型薄膜沉积技术,传感器的寿命周期提高了三倍
- 圆柱形传感器设计便于置换被测气体,确保高速响应
高性能和高可靠性
- 即使在低氧浓度下,仍具有*的精度和线性
- 在不同应用中,可选择泵式或抽提采样方式
内置功能和多种自诊断功能
- 自带多选择器,自动量程,特定量程以及泵开/关功能
- 提供多种自诊断功能,以检测故障,如加热器温度错误,温度传感器断偶和传感器电阻值错误
出众的维护性
- 可现场更换传感器
- 小型轻量,易于安装
规格
测量对象 | 惰性气体中的氧气浓度 | ||||||||
测量系统 | 氧化锆系统 | ||||||||
采样方法 | 泵式,抽提式等 | ||||||||
样气条件 | 流速: 200 ± 25ml/min(仅用于传感器) | ||||||||
测量量程 | 0-10ppm O2至0-100vol% O2 | ||||||||
输出量程 |
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模拟输出 | 2路输出, | ||||||||
接点输出 |
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接点输入 | 1点: 采样气体吸入泵的远程ON/OFF | ||||||||
自诊断 |
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串口通信 | RS-232,38400 bps | ||||||||
标定方法 | (1)3点: 10ppm,1000ppm,空气,(2)2点: 可设定为零点气和量程气标定,(3)1点,(4)空气标定 | ||||||||
暖机时间 | 20分以内 | ||||||||
电源 | 100 - 120V AC/220 - 240V AC,50/60Hz | ||||||||
功耗 | 100~120V AC,200VA zui大,220~240V AC,400 VA zui大 | ||||||||
尺寸 | 213 (W) x 132 (H) x 约375 (D) mm | ||||||||
质量 | 约5kg | ||||||||
管线连接 | 气体入口: Rc1/4或1/4NPT内螺纹 | ||||||||
环境条件 |
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符合的安全标准 |
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特性
重复性 | ±1%F.S.(10,100,1000 ppm,1%,10%或*) |
线性 | ±2%F.S. |
响应时间 | 90%响应 |
漂移 | ±2%F.S./周 |