2015年压力传感器行业分析报告

MEMS

2015年压力传感器行业分析报告

一、压力传感器情况：

（

1

）传感器的定义

国家标准

GB7665-87

对传感器下的定义是：

“能感受规定的被测量并按照一定的规律转

换成可用信号的器件或装置，通常由敏感元件和转换元件组成”

。压力传感器是一种检测装

置，

能感受到被测量的信息，

并能将检测感受到的信息，

按一定规律变换成为电信号或其他

所需形式的信息输出，以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求。它是实

现自动检测和自动控制的首要环节。

（

2

）传感器的分类方法

目前对传感器尚无一个统一的分类方法，但比较常用的有如下三种：

1.

按被测物理量分：如：力，压力，位移，温度，角度传感器等；

2.

按照传感器的工作原理分：如：应变式传感器、压电式传感器、压阻式传感器、电感式传

感器、电容式传感器、光电式传感器等；

3.

按照传感器转换能量的方式分：能量转换型：如：压电式、热电偶、光电式传感器等；能

量控制型：如：电阻式、电感式、霍尔式等传感器以及热敏电阻、光敏电阻、湿敏电阻等。

4.

按照传感器工作机理分：结构型：如：电感式、电容式传感器等；物性型：如：压电式、

光电式、各种半导体式传感器等。

5.

按照传感器输出信号的形式分：模拟式：传感器输出为模拟电压量；数字式：传感器输出

为数字量，如：编码器式传感器。

（

3

）压力传感器

压力传感器是传感器的一种，感知对象为压力，包括传统机械压力传感器和

MEMS

微

机电系统压力传感器两大类：

传统的机械量压力传感器是基于金属弹性体受力变形，

由机械

量弹性变形到电量转换输出；微机电系统（

MEMS

）压力传感器从工作原理上来说一般分为

压阻式传感器和电容式传感器，能完成传统机械传感器不能完成的功能。

相对于传统的机械量传感器，

MEMS

压力传感器的尺寸更小，

zui大的不超过

1cm

，使性

价比相对于传统“机械”制造技术大幅度提高。

二、

MEMS

压力传感器是压力传感器行业发展的主流方向：

近二十年来，

压力传感器行业明显加快了压阻式替代淘汰应变式、

厚膜陶瓷式压力传感

器，

MEMS

技术逐步成为产业化的主流。

1.

MEMS

压力传感器的优势：

目前，

MEMS

压力传感器是传感器发展的主流方向，

未来将替代传统各式传感器。

MEMS

传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。

与传统的传感器相比，

它具

有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化

的特点。

同时，

在微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功

能。