微机械振动传感器
微机械振动传感器是利用微机械（MEMS）加工技术实现的振动传感器，通过电容检测将振动的加速度信号转换成电压信号输出，可配以相应的数字采集器或其它记录系统。
广泛地应用于各种工业环境，可以测量各种振动，如位移，速度，加速度等。测量机器的振动并提供信号，输送给监测仪表，用来对机械故障进行测量；用于工程测振、环境监视、地质勘探、铁路、桥梁、大坝的振动测试与分析；玩具、结构物、手柄振动和摇晃，仪器仪表，汽车制动启动检测；高层建筑结构动态特性、脉动试验与测量；也可用于安全保卫振动侦察。
微机械振动传感器设计简洁，主要技术参数一致性好，稳定，体积小，重量轻，具有防水功能，不需要日常维护。
关键词：仪器仪表
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