子柒等离子体蚀刻机处理工艺关键在于2个方面的应用
1.子柒等离子蚀刻机表面处理:为了提高工具、模具等的性能,可以使用等离子体浸入金属表面的氮、碳、硼、碳氮。该方式 的特点是,不是在表面入复盖层,而是改变基体表面的材料结构及其性能。在处理过程中,工件温度低,不使工件变形对精密零件很重要。该方式 可应用于各类金属基体,关键有电弧放电氮、氮碳浸入、硼浸入。
2.等离子体在电子工业中的应用:大规模集成电路芯片的生产技术,过去采用化学方式,用等离子体方式 代替后,不仅降低了工艺中的温度,还将涂胶、显影、腐蚀、除胶等化学湿法改为等离子体干法,使技术更加简单,实现自动化子柒等离子体蚀刻机用于材料表面改性,主要包括以下2个方面:
①子柒等离子体蚀刻机改变润湿性(也称为润湿性)。有机化合物表面的润湿性对颜料、墨水、粘合剂等的粘结性、材料表面的闪光电压和表面泄漏电流等电气性能有很大影响。测定润湿性的量称为接触角。
②子柒等离子体蚀刻机增强附着力。用等离子体活化气体处理一些聚合物和金属后,可以增强材料和粘合剂的结合强度。原因可能是聚合物表面的交联增强了边界层的附着力;或者在等离子体处理过程中引入偶极子,提高了聚合物表面的附着强度;也可能是等离子体处理消除了聚合物表面的污垢,改善了附着条件。电晕处理也有同样的效果。
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