精密气浮大理石科研实验平台
UPAS超精密气浮平台
特 性 Specification
超高精密:分辨率10nm,重复精度50nm,定位精度:100nm
超稳定性:花岗石机台,气浮导轨,直线电机驱动,匀速段速度波动低于0.05%
高动态性:高加速度,高响应,*平稳运行,同时保持**的稳定性
精密气浮大理石科研实验平台
应 用 Application
半导体制造、激光成像、平板显示器制造、激光切割、精密测量等高精度定位的场合
尺 寸 及 技 术 参 数
规格 | UPAS-2-D-IR-0200-0200-10 | ||
行程(mm) | X200 ,Y1,Y2 200,R360º | 直线度(μm) | X2,Y2 |
重复精度(nm) | X±50,Y±50(分辨率10nm) | X-Y垂直度(arc-sec) | ±3 |
R轴重复精度(acr-sec) | ±2.5 | 额定负载(kg) | 8(MAX30) |
大加速度(m/s²) | X9.8, Y9.8 | X动负载(kg) | 6.78 |
匀速速度(mm/s) | 280 | Y动负载(kg) | 37.09 |
匀速段长度(mm) | X182 Y182 | 总质量(kg) | 102.6 |
工作周期(ms) | X800 Y800 | 外观 | 黑色阳极 |
导轨类型 | 气浮 | 基座材质 | 花岗石 |