硅片电阻测试仪

硅片电阻测试仪
硅片电阻测试仪是用来测量硅片、硅单晶、锗单晶电阻率的测量仪器。它由电气测量部份（简称：主机）、测试架、四探针头及专业测量软件组成。
功能特点
本套仪器的特点是主机配置双数字表，在测量电阻率的同时，另一块数字表（以万分之几的精度）适时监测全程的电流变化，免除了测量电流/测量电阻率的转换，更及时掌控测量电流。主机还提供精度为0.05%的恒流源，使测量电流高度稳定。主机配有恒流源开关，在测量某些薄层材料时，可免除探针尖与被测材料之间接触火花的发生，更好地保护箔膜。主机配置了“小游移四探针头”，探针游移率在0.1～0.2%。保证了仪器测量电阻率的重复性和准确度。本套仪器使用软件进行数据采集,可实现自动换向测量、存储,求平均值，zui大值、zui小值、zui大百分变化率、平均百分变化率等内容。
技术参数
测量范围
■ 可测电阻率：0.0001～1.9*104Ω·cm

探针
■ 使用几何尺寸十分精确的红宝石轴套，确保探针间距的恒定、准确。
■ 控制宝石内孔与探针之间的缝隙不大于6μｍ，保证探针的小游移率。
■ 采用特制的S型悬臂式弹簧，使每根探针都具有独立、准确的压力。
■ 量具精度的硬质合金探针，在宝石导孔内稳定运动，持久耐磨。

恒流源
■ 输出电流：DC 0.001～100mA 五档连续可调
■ 量程：
0.001～0.01mA
0.01～0.10mA
0.10～1.0mA
1.0～10mA
10～100mA
■ 恒流精度：各档均低于±0.05%

直流数字电压表
■ 测量范围：0～199.99mV
■ 灵敏度：10μV
■ 基本误差：±（0.004%读数+0.01%满度）
■ 输入阻抗：≥1000ΩM

供电电源
■ AC 220V±10% 50/60 Hz 功率：12W

使用环境
■ 温度：23±2℃ 相对湿度：≤65%
■ 无较强的电场干扰，无强光直接照射

重量、体积
■ 主机重量：7.5kg
■ 体积：365×380×160（单位：mm 长度×宽度×高度）