电阻率方阻测试仪

金属四探头电阻率方阻测试仪 - HS-MPRT-5

本仪器用来测量硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻的小型仪器.本仪器按照半导体材料电阻率的及国家标准测试方法有关规定设计。 它主要由电器测量部份（主机）及四探头组成，需要时可加配测试架。 为减小体积，本仪器用同一块数字表测量电流及阻率。样品测试电流由高精宽的恒流源提供，随时可进行校准，以确保电阻率测量的准确度。因此本仪器不仅可以用来分选材料也可以用来作产品检测。对1～100Ω·cm标准样片的测量偏差不超过±3%，在此范围内达到国家标准一级机的水平。

金属四探头电阻率方阻测试仪- 产品特点
■ 采用金属探头，游移率小，稳定性高。
■ 仪器采用220V交流电源供电
■ 适用于西门子法、硅烷法等工艺生产原生多晶硅料的企业”
■ 适用于物理提纯生产多晶硅料生产企业
■ 适用于光伏拉晶铸锭及 IC 半导体器件企业
■ 具有抗强磁场和抗高频设备的性能

金属四探头- 技术指标
■ 电阻率：0.01～199.9Ω·cm
■ 方块电阻：0.1～1999Ω/口
■ 直流数字电压表 测量范围：0～199.9mv

              灵敏度：100μv

准确度：0.2%（±2个字）
■ 电源： AC 220V ± 10% ， 50HZ
■ 功耗：zui大功耗 ≤10W ，平均功耗≈ 8W

金属四探头- 典型客户
 江苏、浙江、广东、湖南湖北、内蒙古、河南等地的CZ直拉单晶及铸锭客户。