原理:通过等离子体与固体表面的相互作用,消除固体表面的有机污染物,固体如:金属、陶瓷、玻璃、硅片等等,同时可以用等离子处理系统对样品表面进行处理,改善样品表面的特性,如亲水/疏水特性,表面自由能,以及表面的吸附/粘附特性等等。 1050型射频等离子处理仪(Plasma Asher)的等离子处理单元由固态射频发生器结合调谐电路组成。同时两种处理气体流量针阀监控,全部或部分通气口控制。 应用领域:
仪器性能:
技术参数:
产品信息:
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