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HVA 高真空闸阀应用于 E-Beam 镀膜机

参考价	¥ 99999
订货量	≥1个

具体成交价以合同协议为准

公司名称伯东企业（上海）有限公司
品牌其他品牌
型号
所在地上海市
厂商性质代理商
更新时间2023/5/24 13:32:22
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产品标签:

矩形闸板阀不锈钢真空闸阀真空隔离闸阀 HVA阀门

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公司介绍主营产品

伯东公司成立于1953 年，范围内有一千七百名员工。伯东企业(上海)有限公司(www.hakuto-vacuum.cn)主要从事半导体设备、电子零部件加工、销售及相关服务工作，集团年营业额约为100亿人民币。伯东公司在国内主要城市：北京、苏州、广州、深圳、成都及厦门设有营业据点。
上海伯东真空产品事业部秉承为广大中国客户提供进口真空产品、推动中国真空工艺发展、承担企业社会责任为经营理念，已累计为超过10,000家企业提供真空服务，覆盖工业、半导体、镀膜、科研和分析行业。
上海伯东代理品牌包含：德国Pfeiffer 全系列真空产品、美国 KRI 离子源、美国Brooks Polycold 制冷机，美国HVA 真空阀门，美国 inTEST(Temptronic)高速温度循环测试机，离子蚀刻机，真空镀膜系统及配套真空零配件等。
上海伯东作为真空品牌**代理商，全权负责在中国地区的销售和维修服务，* 使用原厂进口零部件以及国外受训维修工程师；拥有*的拆解，维修，校正能力并提供24小时在线服务。

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德国 Pfeiffer 真空产品, 美国 inTEST 高低温测试机, 美国 Ambrell 感应加热, 美国 Polycold 冷冻机,美国 HVA 真空阀门

产品简介在线询价

HVA 高真空闸阀应用于 E-Beam 镀膜机用于在半导体, 光学, 超导材料等行业的研究与生产, 比如基片蒸发沉积金属, 导电薄膜, 半导体薄膜, 铁电薄膜, 光学薄膜和介质材料.

HVA 高真空闸阀应用于 E-Beam 镀膜机产品信息

因产品配置不同，价格货期需要电议，图片仅供参考，一切以实际成交合同为准。

<strong>HVA 高真空闸阀应用于 E-Beam 镀膜机</strong>

HVA 高真空闸阀应用于 E-Beam 镀膜机

E-Beam 电子束蒸发镀膜机用于在半导体, 光学, 超导材料等行业的研究与生产, 比如基片蒸发沉积金属, 导电薄膜, 半导体薄膜, 铁电薄膜, 光学薄膜和介质材料.

E-Beam 镀膜机设备组成: 系统主要由蒸发室, 电子枪, 进样室 (可选) , 旋转基片加热台, 工作气路, 抽气系统, 真空测量, 电控系统及安装机台等部分组成.
基片在做实验前一般需要做镀前预处理, 镀前预处理的目的是为了得到干净新鲜的金属表面, 为最后获得高质量镀层作准备, 要进行脱脂, 去锈蚀, 去灰尘等工作, 也有客户在 LOADLOCK 腔进行射频反应清洗, 通过使用上海伯东 KRI 离子源将基片的表层打掉, 得到更光滑和均匀的表面.

HVA 高真空闸阀应用
科研用镀膜机的基片尺寸在 4”和6”大小, 本底真空度要求达到 5*10-7mbar或 5*10-8mbar, 通过使用高真空阀门对 LOADLOCK 与主腔间进行真空隔离, 一方面不会污染基片, 另一方面也使主腔更好的维持真空, 对于多腔室联用的系统, 同腔室的隔离更为关键, 而且要保证阀门的足够密封, 稳定可靠才行. 上海伯东是美国 HVA 真空阀门中国总代理.

HVA 真空闸阀

上图为美国 HVA 真空闸阀应用于某 Sputtering + E-Beam PVD 联用系统, 阀门安装在分子泵口便于泵的检修,同时外系统停机时不破坏系统真空, 只要对泵内部进行破真空即可.

上海伯东美国 HVA 高真空闸阀 11000 系列产品
尺寸范围: 0.625”-24”ID ( DN 16mm-DN 600mm)
接口类型: CF(英制) / ANSI / KF / ISO-F / CF(公制 )/ JIS / ISO-K多种接口可选
对于气动规格, 电磁阀可选: 24VDC, 120VAC, 220VAC, 24VAC
HVA真空闸阀

若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请联络上海伯东邓女士，分机134