微波等离子清洗机

NANO-MASTER 等离子清洗和灰化系统是专门设计用来满足晶圆批处理或者单晶片处理的广泛应用，从晶圆的光刻胶剥离到表面改性都涉及到。该系列的设备采用PC控制，微波等离子清洗机可以配套不同的等离子源，加热或不加热基片夹具,具有*的能力:可以从PE等离子刻蚀切换到RIE刻蚀模式,也就是说可以支持各向同性和各向异性的各种应用。

仪器的选配：

• 真空泵 ： 真空泵组，如，抽吸能力大250m3/h
• 气路：额外的数字显示质量流量控制器（可支持到4路）
• 旋转台：铝，直径350mm,速度可调
• ECR(电子回旋共振)：铝、支架配置永磁体

NPC-4000微波等离子清洗机产品特点：

• 紧凑型立式系统
• 自动上下载片
• 带Load Lock
• 不锈钢、铝制腔体或钟罩式耐热玻璃腔
• 兼容100级超净间使用
• 淋浴头、ICP或微波等离子源
• 旋转样品台
• RF偏压可PID控制加热到300 °C或冷却的样品台
• 全自动或手动RF调谐
• zui多可支持8个MFC带电抛光的气体管路
• PC计算机控制的气动阀
• 带密码保护的多级访问控制
• 基于LabView软件的PC计算机全自动控制
• 机械泵的压力可达到10mTorr
• 250 l/s的涡轮分子泵
• 极限真空为5x10-7Torr
• 完整的安全联锁