球差校正扫描透射电子显微镜

该球差校正扫描透射电子显微镜还配备了高分辨率镜头和冷场发射电子枪，进一步提高了图像分辨率和电子束能量分辨率。同时，该型号系列还增加了一款不带球差校正的主机配置，可以以后加配球差校正进行升级。

球差校正扫描透射电子显微镜特色
 

高分辨率扫描透射电子显微镜成像

• HAADF-STEM图像0.136 nm，FFT图像0.105 nm(高分辨率镜头*)
• HAADF-STEM图像0.144 nm(标准镜头)
• 明场扫描透射电子显微镜图像0.204 nm(w/o球差校正仪)

高速，高灵敏度能谱分析：探针电流×10倍

• 元素面分布更迅速及时
• 低浓度元素检测

操作简化

• 自动图像对中的功能

从样品制备到观察分析实现无缝连接

• 样品杆与日立聚焦离子束系统兼容

配有各种选购件可执行各种评估和分析操作

• 同时获取和显示SE&BF, SE&DF, BF&DF, DF/EDX面分布*和DF/EELS面分布*图像。
• 低剂量功能*(使样品的损伤和污染程度降至低)
• 高精度放大校准和测量*
• 实时衍射单元*(同时观察暗场-扫描透射电子显微镜图像和衍射图案)
• 采用三维微型柱旋转样品杆(360度旋转)*，具有自动倾斜图像获取功能。
• ELV-3000即时元素面分布系统*(同时获取暗场-扫描透射电子显微镜图像)