奥林巴斯红外线观察用显微镜物镜是可观察晶圆内部的近红外线(波长:700-1300 nm)观察的物镜。LCPLN-IR系列物镜采用校正环对不同硅厚度进行补正的物镜。
适用于晶圆内部观察等近红外领域观察的特殊镜头
LCPLN-IR可利用校正环补正硅质厚度或玻璃厚度
奥林巴斯红外线观察用显微镜物镜
物镜 | 倍率 | N.A(开口数) | W.D.(焦点距离)(mm) | F.N.(视场) | 玻璃厚度 修正(mm) | 硅厚度 修正(mm) |
LMPLN-IR/LCPLN-IR | 5X | 0.1 | 23 | 22 | - | - |
10X | 0.3 | 18 | 22 | - | - | |
20X | 0.45 | 8.3 | 22 | 0-1.2 | 0-1.2 | |
50X | 0.65 | 4.5 | 22 | 0-1.2 | 0-1.2 | |
100X | 0.85 | 1.2 | 22 | 0-0.7 | 0-1.0 |
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