公司推出的新型 Z neox3D轮廓仪 在性能、功能、效率和设计方面优于现有的3D光学轮廓仪,是ZERO的新一代测量系统。
测量原理 | 共聚焦、PSI, ePSI, CSI, Ai 多焦面叠加和薄膜 |
观察类型 | 明场、DIC、彩色、共聚焦、干涉相位对比 |
测量类型 | 图像,3D, 3D膜厚、线轮廓和坐标 |
相机 | 5Mpx: 2448x2048 像素 (60 fps) |
台阶精度 | 0.5% |
台阶重复性 | 0.1% |
显示分辨率 | 0.001 nm |
拼接张数 | 10x12(分辨率): 175x175(低分辨率)(500Mpx) |
共聚焦帧速 | 20 fps (5Mpx); 60 fps (1.2 Mpx) |
一般垂直扫面范围 | 线性平台: 40mm 范围;5nm 分辨率 |
精细垂直扫描范围 | 带有压电扫描器; 200μm 范围;0.5nm 分辨率 |
Z 测量范围 | PSI 20µm; CSI 10mm; 共聚焦和 Ai多焦面叠加 34mm |
XY 工作台范围 | 手动:40x40 mm; 电动;114x75 mm, 154x154 mm, 255x215 mm, 302x302 mm |
LED光源 | 红色(630纳米); 绿色(530纳米); 蓝色(460纳米)和白 色(575纳米) |
环形照明 | 绿色环形灯与 6 孔位鼻轮兼容 |
鼻轮 | 6 孔位全电动 |
样品反射率 | 0.05 % to |
样品重量 | 25Kg |
样品高度 | 40mm(标准);150mm 和 350mm(可选) |
用户管理权限 | 管理员,主管,高级操作员,操作员 |
高级软件分析 | SensoMAP,SensoPRO, SensoMATCH, SensoCOMP(可选) |
功率 | 线电压100-240 V AC; 频率50/60 Hz单相 |
计算机 | 的INTEL处理器; 3840x2160像素分辨率 (4K) (27”) |
操作系统 | 64 位 Windows 10 操作系统 |
重量7 | 61 千克( 134 磅) |
环境 | 温度 10ºC至 35ºC; 湿度<80%RH; 海拔<2000米 |
的速度
精准易用
功能灵活多样
引导使用
扩展测量模块
出色的横向和纵向分辨率