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气体质量流量计/质量流量控制器特性：产品名称：气体质量流量控制器（MFC/MFM）
标准量程（N2）：0～5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM；
0～1、2、3、5、10、20、30、50、100、200SLM；
准精度：±1％F.S； 重复精度：±0.2%F.S
响应时间：电特性 ＜10sec 气特性＜1～4sec
线性：±（0.5～1）％F.S 工作压差范围：0.05～0.3MPa
耐压：3，10MPa； 工作环境温度：5～45℃
输入输出信号电压：0～+5.00V
电源：+15V500mA、-15V500mA（输入阻抗大于100K，输出电流不大于3mA）
电连接器：D14pin
外形尺寸：130*28*121mm
重量：约1.0kg
接口尺寸：Swagelok :Φ3.Φ6.Φ10.Φ1/4〞.Φ3/8〞....
VCR接头：Φ1/4〞.Φ3/8〞.Φ1/8〞........
气体质量流量控制器, 即称Mass Flow Controller（缩写为MFC）, 不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置, 是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。
目前所用各种型式的气体流量计，绝大部分是计量气体的体积流量。由于气体的体积随温度与压力的不同而变动，所以常发生较大的计量误差。如工作压力经常变动，更使计量发生困难。
气体质量流量计的主要特点是不受温度与压力变动的影响，其显示读数直接指示气体的质员流量。它具有一系列优点：
1. 在常压、高压或负压的条件下均可选用。
2. 可在常温、100度，甚至又高的温度下正常运行。
3. 适用的量程范围宽，既能用于实验室内小流量的场所也可用于工厂生产中的大型装置。
4. 流量计的阻力降极微。
5. 抗介质腐蚀的能力强。
6. 计量精度高。
7. 输出电讯号，可远传显示，还便于与其他仪表配合后实现流量记录．自控或累计。
质量流量计是一种热导式仪表早在本世纪初，托马斯（Thomas）提出了它的原型，后几经变革惭趋完善。目前许多国家有这类流星计的工业产品，厂泛应用于各个工业生产及科学实验的领域。虽具体结构各有差异，但其原理是基本*的。我国自1976年以来，也已有几种产品陆续间世，较多地应用于原子能工业及半导体制造工业。我们曾用于80大气压微型催化反应装置中计量氢气流量，己取得了成功的经验。若能把它推广应用于石油、化工业的各个方面必将收到良好的效益。
