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三路质子气体流量控制器

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  • 公司名称河南创合实验室设备有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地郑州市
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2022/8/19 17:14:20
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河南创合实验室设备有限公司成立于2018年。公司是集研发、制造、营销于一身,为众多科研院所、大学提供实验室电炉系统解决方案及服务并深受用户肯定的实验室设备供应商;以北大、清华、中科院等各院所为代表的客户群体已经超过百余家,并为客户完成科研项目做出了自己的贡献。截至到目前,公司已经成功研发出深受用户肯定的200余种的产品;同时公司的研发团队具备为客户量身打造化实验室电炉系统的能力。公司主营产品包括:实验室箱式炉,管式炉,井式电阻炉,CVD系统,RTP管式炉,等离子清洗机,实验室压片机等系列的实验室产品。
真空马弗炉
三路质子流量控制器主要用于实验室气体流量测试,并按比例混合气体,为实验室管式炉或手套箱等其他特定容器营造特定要求的气氛环境
三路质子气体流量控制器 产品信息

三路质子流量控制器主要用于实验室气体流量测试,并按比例混合气体,为实验室管式炉或手套箱等其他特定容器营造特定要求的气氛环境.
该气体流量控制器可以外接3种气体,采用质子型流量计,气路管道采用304抛光管制作耐腐蚀性强.三路质子气体配比器气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接且不易泄漏.


应用范围:
1.半导体制造行业中气体流量控制
2.各种真空镀膜设备
3.材料表面处理
4.气体燃烧控制
5.混和配气系统
6.环境检测与分析设备
7.分析仪器的气体流量计量与控制 8.化工、石化、冶金、光纤熔炼等需要气体检测和控制的场所

技术参数

产品名称三路质子气体流量控制器
流量计类型质子流量计
流量计管芯304不锈钢
调节阀类型电磁调节阀
管道常态常闭
流量计外壳黑色铝壳
气体种类3种
接口尺寸1/4"
测量精度±1.0%F.S
线性度±0.5%F.S
重复精度±0.2%F.S
压力范围-0.1-0.15 MPa
A路气体测量范围0~100SCCM
B路气体测量范围0~200SCCM
C路气体测量范围0~500SCCM
流量控制范围2%~99%
零点温漂0.6F.S(15~35℃)
响应时间2S
工作环境温度(15~50℃)
精度保证温度(15~35℃)
供电电源220V 50Hz
设备重量43kg



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