1.1 设备外型:立式。(近期因注册,外型以实际到货为准)
1.2 激光类型:风冷式光纤激光器
1.3 激光扫描头:高精密数字扫描头
1.4 激光波长: 1064nm
1.5 输出功率: 20W
1.6 输出功率范围: 1% ~
1.7 脉冲宽度: 1ns ~ 250ns
1.8 光束质量: M² ≤ 1.3
1.9 激光频率: 1Khz-1000Khz
1.10 开封深度: 0.01mm~3mm(输出功率一次可以开 3mm 深度)
1.11 开封速度: ≥ 8000mm/s
1.12 实时操作模式,同轴和共焦:可以直接导入 X-Ray, SAM, SEM,JPG,PLT 等图像
(同轴共焦所见即所得,影像系统和激光系统共焦和
同轴的彩色成像系统,实时成像与激光扫描同步)
1.13 系统软件:专业开封控制软件,简洁的用户界面,易学易用。可升级。
软件功能强大,界面友好。傻瓜式绘制开封图形。中心和任意位置画
图操作(方形,圆形,线性,方形框,圆形框等)。可打印中英文字
体, CCD 视觉定位功能。可以快速,实时,导入 X-ray 图像,几十秒
之内完成。)
1.14 聚焦(选项):自动软件寻焦。(实时红光显示,简便、精度高。激光聚焦点是
激光能量强点,随着样品厚度增加,用实时
红色光点自动来捕捉聚焦点,节省时间)
1.15 激光寿命:大于 80000 小时,能 24 小时全天候使用,寿命长达 10 年。
1.16 扫描范围: 110mm x 110mm( option 可根据客户需求定制更大的范围)
1.17 激光安全等级: Class IV4 / 10
1.18 设备安全等级: Class I 设备设有门互锁装置,
当门打开时,激光强制停止出光,达到无伤害安全等级。
1.19 激光安全玻璃视窗:设备安装可观察安全玻璃视窗,保护眼睛不被侵害。
1.20 稳压电源:标配(激光遇到瞬间电压或电流不稳定,极易造成损坏)。
1.21 设备附配显微镜:标配 45 倍 LED 观测显微镜(取出样品,方便观察开封效果)
1.22 烟尘过滤器:环氧树脂粉尘被吸入一个集尘器,排出正常的气体。
-超小型体积,质量轻,性能高
-可以满足各类激光加工需求的除异味高压型除尘机
-适合于狭小场所或者配套于其它设备, 24 小时连续运转
-盒式过滤器组装在设备中,更换简单,无需维护
-可以获得较高的吸引力(1.8kPa)
-自动振动手柄防止过滤器的堵塞
-1 次过滤器的除尘效率: 4.5 µ 的颗粒, 80%以上
-2 次过滤器采用了带活性炭的过滤材料
-3 次过滤器的除尘效率: 0.3 µ 的颗粒, 98%以上
-通过风量调节按钮自由调节吸气能力
1.23 EMO:紧急停止按钮。(安全规定)
1.24 样品尺寸: 0.5mm - 50mm( option 可根据客户需求定制更大的范围)
1.25 照相机:大于 1500 万像素,高精度彩色照相机。 FOV: 50mm x50mm。
1.26 视觉倍率:无极变倍。(实时影像放大缩小,此功能更方便的开封更小的样品,实
时放大并方便捕捉和绘图)
1.27 电脑:高稳定性定制商业电脑。
1.28 显示器: LCD19"
1.29 键盘和鼠标:无线 Logitech 罗技
1.30 电源: 220V - 240V, 50HZ - 60HZ, 60A
1.31 设备尺寸: 700mm x 1000mm x 1700mm( 以实际出货为准)
1.32 重量: 150KG
1.33 气体:大于 0.3Mpa
2、设备主要功能(激光开封机)
2.1 设备用途:
利用激光蚀刻气化原理,设置激光参数,将被刻蚀样品的塑封外胶剥离去除。
首先,激光至绑点 200-300UM 时,用化学方式打开芯片。
再用激光直接打开第二邦点。以便观测样品内部分析。6 / 10
2.2 操作过程:
1)、将被开封样品放在开封机工作平台上;
2)、开启激光装置,针对样品进行定位和聚焦;
3)、画出任意需要开封的区域;
4)、根据被刻蚀样品设置激光开封参数;
5)、视觉系统实时观察样品开封状况