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产品名称：URE-2000/35型紫外光刻机 | ||
主要技术指标： | ||
| 曝光面积：100mm×100mm | ||
| 分辨力：1um（胶厚1.5μm的正胶） | ||
| 对准精度：±0.8μm | ||
| 胶厚：300μm（SU8胶） | ||
| 掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch | ||
| 样片尺寸：直径Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm)； | ||
| 照明均匀性：±4%（Ф100mm 范围） | ||
| 汞灯功率：350W（直流） | ||
| 掩模相对于样片运动行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6° | ||
技术特点： | ||
| 创新采用三柔性支点实现高精度自动调平；真空接触自动曝光；样片升降、调平、接触、曝光、复位实现自动化控制；采用积木错位蝇眼透镜实现高均匀照明；可连续设定分离间隙；采用双目双视场显微镜实现高对准精度。整机具有性能可靠、操作方便、自动化程度高等特点。 | ||
