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特点：
测量型金相显微镜是一种兼顾影像、目视与纳米高度测量多用的高精度、高效率测量仪器。该产品具有电视成像与目视光学两套瞄准系统，可人工观察金属表面的金相组织结构，是集光、机、电、算、影像于一体的显微镜。该产品以二维测量为主，也可作三维辅助测量，广泛应用于电子组件、精密模具、塑料、PCB加工方面、镀膜厚度、手机玻璃等工业领域。
特点：
1. Z轴光栅尺分辨力为0.1μm
2. X、Y轴采用空气轴承、花岗石导向，保证了机械系统的精确稳定，提高了测量精度
3. X、Y、Z三轴伺服控制，定位精度高、速度快，运行平稳
4. 同轴光/底光测量
5. 内置偏光测量光学模块
6. 自主开发QMS3D-M软件，高清晰进口1/2"彩色摄像机
7. 可通过激光指示器寻找被测工件的具体位置，可适应复杂工件的测量
8. 可实现Z轴自动对焦
9. 具有偏光和DIC检测功能
10. 可搭配白光纳米检测模块测量纳米级厚度
技术规格参数：
型号 | MTM-6065H | MTM-6090H | |
工作台 | 玻璃台尺寸(mm) | 1070 x 640 | 1070 x 640 |
X、Y轴运动行程(mm) | 600 x 650 | 600 x 900 | |
Z轴行程(mm) | 200 | ||
外形尺寸(mm) | 1800 x 1350 x 1450 | ||
仪器重量(kg) | 1300 | 1500 | |
X、Y轴光栅尺分辨力(μm) | 0.5 | ||
Z轴光栅尺分辨力(μm) | 0.1 | ||
示值误差(μm) | E1XY=( 2.5+ L/200) μm (L为测量长度，单位mm) | ||
物镜放大倍数误差 | 包括畸变在内的放大率误差≦0.08% | ||
落射照明光源 | 可调高亮度卤素灯 | ||
底光照明光源 | 可调高亮度LED灯源 | ||
目视系统 | 影像系统 | ||
物镜放大倍数 | 5X、10X、20X、50X(可选配100X) | 5X、10X、20X、50X；10X Mirau物镜 | |
目镜放大倍数 | 10X双镜筒 | 1/2”CCD摄像机 | |
视频总倍率 | 50X ~500X | 142.5X ~1425X (19.5”显示器，分辨率1440 x 900) | |
