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表面粗糙度测量仪 SV-3100 系列产品
三丰表面粗糙度测量仪SV-3100 系列产品可进行精度、水平分析，3D表面粗糙度分析，微细轮廓测量，以及原有的表面粗糙度测量。
自动调水平工作台、3 轴调整台等外部设备的应用，有效增加了该产品的操作性能，同时也实现了自动测量。
安装了分析软件SURFPAK-SV 使用这一软件，可对从车间和实验室中得到的资料进行统一格式的管理。
采用陶瓷制作的 X 轴驱动部导轨，因为陶瓷具有一定的防磨损性能。
为了保证精度测量，在 X 轴 和Y 轴(选件)上都内置了玻璃尺(X 轴分辨率：0.05μm, Y 轴分辨率：1μm)
货号 | 型号 | 检测器测力mN | 垂直移动 | 花岗岩基座尺寸（WxD） | 尺寸（主机、WxDxH） | 备注 | X轴测量范围mm | 重量kg |
166-215 | 仪器放置台 (带有抽屉) | |||||||
178-016 | 调水平工作台 | |||||||
178-019 | 精密卡钳,用于 XY 调水平工作台 | |||||||
178-023 | 防震台 | |||||||
178-024 | 防震台架 | |||||||
178-042-1 | 数显 XY 调水平工作台 (25 x 25mm) | |||||||
178-043-1 | XY 调水平工作台 (25 x 25mm) | |||||||
178-047 | 三轴调整台 (包含998291) | |||||||
178-451-1* | SV-3100S4 | 0.75 | 300mm电动立柱 | 600X450mm | 756X782X966mm | 无X轴倾斜功能 | 100 | 140 |
178-451-2* | SV-3100S4 | 4 | 300mm电动立柱 | 600X450mm | 756X782X966mm | 无X轴倾斜功能 | 100 | 140 |
178-452-1* | SV-3100H4 | 0.75 | 500mm电动立柱 | 600X450mm | 756X482X1166mm | 无X轴倾斜功能 | 100 | 150 |
178-452-2* | SV-3100H4 | 4 | 500mm电动立柱 | 600X450mm | 756X482X1166mm | 无X轴倾斜功能 | 100 | 150 |
178-453-1* | SV-3100W4 | 0.75 | 500mm manual立柱 | 1000X450mm | 1156X482X1176mm | 无X轴倾斜功能 | 100 | 220 |
178-453-2* | SV-3100W4 | 4 | 500mm manual立柱 | 1000X450mm | 1156X482X1176mm | 无X轴倾斜功能 | 100 | 220 |
178-456-1* | SV-3100S8 | 0.75 | 300mm电动立柱 | 600X450mm | 766X482X966mm | 无X轴倾斜功能 | 200 | 140 |
178-456-2* | SV-3100S8 | 4 | 300mm电动立柱 | 600X450mm | 766X482X966mm | 无X轴倾斜功能 | 200 | 140 |
178-457-1* | SV-3100H8 | 0.75 | 500mm电动立柱 | 600X450mm | 766X482X1166mm | 无X轴倾斜功能 | 200 | 150 |
178-457-2* | SV-3100H8 | 4 | 500mm电动立柱 | 600X450mm | 766X482X1166mm | 无X轴倾斜功能 | 200 | 150 |
178-458-1* | SV-3100W8 | 0.75 | 500mm manual立柱 | 1000X450mm | 1166X482X1176mm | 无X轴倾斜功能 | 200 | 220 |
178-458-2* | SV-3100W8 | 4 | 500mm manual立柱 | 1000X450mm | 1166X482X1176mm | 无X轴倾斜功能 | 200 | 220 |
178-471-1* | SV-3100S4 | 0.75 | 300mm电动立柱 | 600X450mm | 766X482X966mm | 100 | 140 | |
178-471-2* | SV-3100S4 | 4 | 300mm电动立柱 | 600X450mm | 756X782X966mm | 100 | 140 | |
178-472-1* | SV-3100H4 | 0.75 | 500mm电动立柱 | 600X450mm | 756X482X1166mm | 100 | 150 | |
178-472-2* | SV-3100H4 | 4 | 500mm电动立柱 | 600X450mm | 756X482X1166mm | 100 | 150 | |
178-473-1* | SV-3100W4 | 0.75 | 500mm manual立柱 | 1000X450mm | 1156X482X1176mm | 100 | 220 | |
178-473-2* | SV-3100W4 | 4 | 500mm manual立柱 | 1000X450mm | 1156X482X1176mm | 100 | 220 | |
178-476-1* | SV-3100S8 | 0.75 | 300mm电动立柱 | 600X450mm | 766X482X966mm | 200 | 140 | |
178-476-2* | SV-3100S8 | 4 | 300mm电动立柱 | 600X450mm | 766X482X966mm | 200 | 140 | |
178-477-1* | SV-3100H8 | 0.75 | 500mm电动立柱 | 600X450mm | 766X482X1166mm | 200 | 150 | |
178-477-2* | SV-3100H8 | 4 | 500mm电动立柱 | 600X450mm | 756X482X1166mm | 200 | 150 | |
178-478-1* | SV-3100W8 | 0.75 | 500mm manual立柱 | 1000X450mm | 1166X482X1176mm | 200 | 220 | |
178-478-2* | SV-3100W8 | 4 | 500mm manual立柱 | 1000X450mm | 1166X482X1176mm | 200 | 220 | |
178-610 | 公制型4 段阶差规(1μm, 2μm, 5μm, 10μm) | |||||||
178-611 | 阶差规 (2μm, 10μm) | |||||||
181-902-10 | 带夹钳的V 型块(工件直径小于: 25mm) | |||||||
218-007 | 仪器放置台 | |||||||
218-008 | 辅助台 | |||||||
218-010 | 辅助台 | |||||||
998291 | 精密V 型块,用于 XY 调水平工作台 |
技术参数
X 轴
测量范围: 100mm 或 200mm
分辨率: 0.05μm
检测方法: 线性编码器
驱动速度: 0 - 80mm/s
测量速度: 0.02 - 5mm/s
移动方向: 向后
直线度: (0.05+1L/1000)μm*
(0.5μm/200mm: 测量范围为200mm的型号)
倾角范围: ±45º
Z2 轴 (立柱)
垂直移动: 300mm 或 500mm、动力驱动
分辨率: 1μm
检测方法: ABSOLUTE 线性编码器
驱动速度: 0 - 20mm/s
检检测器
范围／分辨率: 800μm / 0.01μm, 80μm / 0.001μm,
8μm / 0.0001μm (使用测头选件
时，可达2400μm)
检测方法: 无轨／有轨测量
测力: 4mN 或 0.75mN (低测力型)
测针针尖: 金刚石、90º / 5μmR
(60º / 2μmR: 低测力型)
导头曲率半径: 40mm
检测方法: 差动电感式
基座尺寸 (W x H): 600 x 450mm 或 1000 x 450mm
基座材料: 花岗岩
尺寸 (W x D x H): 756 x 482 x 966mm (S4 型)
756 x 482 x 1166mm (H4 型)
1156 x 482 x 1176mm (W4 型)
766 x 482 x 966mm (S8 型)
766 x 482 x 1166mm (H8 型)
1166 x 482 x 1176mm (W8 型)
重量 140kg (S4, S8 型)
150kg (H4, H8 型)
220kg (W4, W8 型)
*L 为驱动长度 (mm)
评估能力: SURFPAK-SV
评估轮廓
P (主轮廓), R (表面粗糙度轮廓), WC, WCA, WE, WEA,
DIN4776 轮廓、包络残余线、粗糙度 motif、波形 motif
评估参数
Ra, Rq, Rz, Ry, Rz(JIS), Ry(DIN), Rc, Rp, Rpmax, Rpi, Rv, Rvmax, Rvi,
Rt, Rti, R3z, R3zi, R3y, S, Pc (Ppi), Sm, HSC, mr, dc, plateau ratio,
mrd, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, Da, Dq, la, lq, Sk, Ku, Lo, Lr, A1,
A2
粗糙度 motif 参数: Rx, R, AR, SR, SAR, NR, NCRX, CPM
波形 motif 参数: Wte, Wx, W, AW SW, SAW, NW
分析图表
ADC, BAC1, BAC2、功率谱图、自相关图、Walsh 功率
谱图、Walsh 自相关图、 倾斜分布图、局部峰值分布图、
参数分布图
滤波类型 2CR-75%, 2CR-50%, 2CR-75% (相位校正),
2CR-50% (相位校正), 高斯-50%
截止波长*
lc: 0.025mm, 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm, 25mm
fl: 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm, 25mm
fh: 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm
取样长度 (L)*
0.025mm, 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm, 25mm
取样长度
倾斜补偿、R 平面 (曲面) 补偿、椭圆补偿、抛物线补偿、
双曲线补偿、二次曲线自动补偿、 多项式补偿、
多项式自动补偿
* 可在0.025mm 移动长度间长度。选件
178-611: 阶差样板 (2μm, 10μm)
178-612: 阶差样板
(2μm, 10μm, 79μinch, 394μinch)
178-610: 公制型4 段阶差样板
(1μm, 2μm, 5μm, 10μm)
178-047: 三轴调整台 (包括998291)
178-016: 调水平工作台
178-042-1: Digimatic XY 调水平工作台 (25 x 25mm)
178-052-1: Digimatic XY 调水平工作台 (1" x 1")
178-043-1: XY 调水平工作台 (25 x 25mm)
178-053-1: XY 调水平工作台 (1" x 1")
178-019: 精密卡钳*
998291: 精密V 型块*
181-902: 带夹钳的V 型块
(工件直径小于: 25mm)
181-901: 带夹钳的V 型块
(工件直径小于: 1")
178-023: 防震台
178-024: 防震台架
218-007: 仪器放置台
166-215: 仪器放置台 (带有抽屉)
218-010: 辅助台
218-008: 辅助台
*产品信息仅供参考，型号和技术参数生产厂家有可能随时更改
