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货号 | 型号 | X1轴测量范围mm | 垂直行程 | 花岗岩基座尺寸（WxD） | 尺寸（主机、WxDxH） | 重量（主机） |
218-421* | CV-3100S4 | 100 | 300mm电动立柱 | 600x450mm | 741x450x905mm | 140kg |
218-422* | CV-3100H4 | 100 | 500mm电动立柱 | 600x450mm | 741x450x1105mm | 150kg |
218-423* | CV-3100W4 | 100 | 500mm电动立柱 | 1000x450mm | 1118x450x1111mm | 155kg |
218-426* | CV-3100S8 | 200 | 300mm电动立柱 | 600x450mm | 741x450x905mm | 145kg |
218-427* | CV-3100H8 | 200 | 500mm电动立柱 | 600x450mm | 767x450x1105mm | 155kg |
218-428* | CV-3100W8 | 200 | 500mm电动立柱 | 1000x450mm | 1144x450x1111mm | 160kg |
218-461* | CV-4100S4 | 100 | 300mm电动立柱 | 600x450mm | 741x450x905mm | 140kg |
218-462* | CV-4100H4 | 100 | 500mm电动立柱 | 600x450mm | 741x450x1105mm | 150kg |
218-463* | CV-4100W4 | 100 | 500mm电动立柱 | 1000x450mm | 1118x450x1111mm | 155kg |
218-466* | CV-4100S8 | 200 | 300mm电动立柱 | 600x450mm | 741x450x905mm | 145kg |
218-467* | CV-4100H8 | 200 | 500mm电动立柱 | 600x450mm | 767x450x1105mm | 155kg |
218-468* | CV-4100W8 | 200 | 500mm电动立柱 | 1000x450mm | 1144x450x1111mm | 160kg |
X轴
测量范围:100mm或200mm
分辨率:0.05μm
检测方法:反射型线性编码器
驱动速度:80mm/s和手动
测量速度:0.02-5mm/s
移动方向:向前／向后
直线度:0.8μm/100mm,2μm/200mm
*当X轴在水平方向上指示精度:±(1+0.01L)μm(CV-3100S4,H4,W4)
(20°C时)±(0.8+0.01L)μm(CV-4100S4,H4,W4)
±(1+0.02L)μm(CV-3100S8,H8,W8)
±(0.8+0.02L)μm(CV-4100S8,H8,W8)
*L为驱动长度(mm)
倾斜范围:±45°
Z2轴(立柱)
垂直行程:300mm或500mm
分辨率:1μm
检测方法:ABSOLUTE线性编码器
驱动速度:0-20mm/s和手动
Z1轴(检测器)
测量范围:±25mm
分辨率:0.2μm(CV-3100),0.05μm(CV-4100)
检测方法:线性编码器(CV-3100),
激光全息测微计(CV-4100)
指示精度:±(2+I4HI/100)μm(CV-3100)
(20°C时)±(0.8+I2HI/100)μm(CV-4100)
*H为水平位置上的测量高度(mm)
测针上／下运作:弧形运动
测针方向:向上／向下
测力:30mN
跟踪角度:向上：77°、向下：87°(根据表面粗糙度，使用标准单切面测针)
测针针尖半径:25μm、硬质合金针尖
基座尺寸(WxH):750x600mm或1000x450mm
基座材料:花岗岩
重量
主机:140kg(S4),150kg(H4),155kg(W4),145kg(S8),155kg(H8),160kg(W8)
控制装置:14kg
遥控箱:0.9kg
电源:100–240VAC±10%,50/60Hz
能耗:400W(限主机)
批量校准功能
•使用校准规，可同时进行设备的Z轴增益，对称及针尖半径的校准。
*产品信息仅供参考，型号和技术参数生产厂家有可能随时更改
