Edwards真空泵nXDS10i电子显微镜nXDS15干泵

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托理拆利之Edwards爱德华真空泵nXDS10i、nXDS15i电子显微镜应用案例介绍

电子显微镜用真空泵做什么?

真空对电子显微镜有非常重要的作用，电子显微镜工作时，整个电子束路径与待分析的样品一起都会置于高真空的环境，如果真空度不够高，电子枪的栅极与阳极间可能会产生极间放电进而烧断灯丝，电子束与残留空气粒子发生碰撞还会导致散射，这种散射会导致电子束中的电子无法到达样品，或者分析失真。

电子显微镜真空案例介绍

2022年4月，根据用户实际项目需求，深圳市托理拆利机电设备有限公司给用户选用了几套爱德华（Edwards）nXDS真空泵，该真空泵应用于电子显微镜，为了使电子束中的电子尽量不受阻碍地移动，电子显微镜的真空度通常需要达到1E-7mbar量级的高真空，甚至1E-10mbar量级的超高真空；除了真空度，真空泵工作时的振动水平也非常关键，由于电子束的截面小，在样品上的定位精度很高，只有处于振动水平极低的环境中，才能保持这种精度；另外，为了避免油蒸汽污染样品或显微镜内部元件，爱德华（Edwards）nxds系列干泵是该工艺工作环境的理想选择。

nXDS10i 是下一代无油的干式涡旋泵，并取代 XDS5。与传统 XDS 泵相比，nXDS 性能更强，抽速更高，极限压力更低，功耗更低，噪声更小。气镇允许泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶剂、稀酸和碱。nXDS还采用了新的端部密封，延长了端部密封更换的时间间隔。具有自动电压输入感知功能的集成变频器驱动提供整体优化的泵送性能。

爱德华（Edwards）nXDS系列干式涡旋泵应用在哪些地方？

一般清洁泵送应用

电子扫描显微镜 - SEM

射束线和高能物理

前级涡轮泵

速离心机

覆层

低温学

脱气/硫化 - 油，环氧树脂

蒸馏/萃取/过滤

冷冻干燥

熔炉

凝胶体干燥

实验室工作台上真空

激光、气体回收和再循环

氦检漏仪

负载锁和传输腔

稀有气体再循环

稀有气体回收

冷冻制造

旋转离心蒸发器

SEM/FIB（离子束维修）

溶剂回收

表面科学仪器

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