TMAH显影液在线浓度仪

四甲基氢氧化铵(TMAH)，在电子行业中广泛用作TFT-LCD、IC正胶显影剂、硅晶蚀刻剂、CMP过程超纯清洗剂，同时也是液晶显示器中的显像液。随着电子工业日新月异的发展，PCB技术也在飞速发展。作为PCB图形成像之关键工序—显影，直接影响着线路品质及阻焊的品质，显影的品质要求不能有显影不净，不能有显影过度，不能有掉线和绿油脱落等，显影露铜点50% ~ 60%(一半显影段)。因此显影液浓度的控制对显影工序起着非常重要的作用。

描述 无色透明溶液 分子式 (CH3)4NOH 分子量 91.15 形态： 液体 沸点 oC凝固点oC： <-25.0 粘性25 oC： cst 2.8 比重 60 oF闪点 oF： >200 pH： >13

根据工艺要求需要将现存的浓度为20%的TMAH洁净液调配稀释到目标浓度2.38%，需要在线仪表提供准确TMAH浓度测量，已达到精确配置目标浓度显影液的目的。目前国内常用采样后分析系统测量TMAH的浓度，测量过程大概需要20分钟时间，该方式不具备实时性，过程管道的浓度变化无法及时监测到，导致调控滞后。为了提高生产量，显影液的配对效率需要提高，缩短配比的时间，需要在线实时对TMAH的浓度进行监控，完善工艺控制要求。采用临界角全反射原理的TMAH在线浓度仪能够满足在线检测要求，且测量精度高。

MPRE-Scan 2.38%TMAH显影液在线浓度仪是根据临界角测量原理设计的一种新型连续在线监测仪，由于仪表的传感器检测元件与被测介质直接接触，且没有极化效应，故该仪表可广泛应用于半导体、TFT-LCD、化工、环保等工业液流中，连续在线测量TMAH、TMACL、H2O2、NAOH等强腐蚀性介质浓度，拥有一般浓度仪表*的优点。

2.38%TMAH显影液在线浓度仪技术优势

超大TFT-LCD显示屏带超亮背光便于阅读。

多种信号输出4-20mA标准信号、RS485通讯接口（可选）；

两组两级单稳型继电器可以控制外围（如风机、声光报警器）动作

多级校准——高精度，高稳定性，高灵敏度；

友好界面--中英文菜单可选，方便操作；

一键恢复功能，使您无须担心操作失误。

*传感器；

具有自动温度补偿、零点校正系统，自诊断功能；

多层腐蚀工艺处理，适用于各种工况；

两级声光报警，可自行设置高低报警点

多级密码保护功能，防止用户误操作。