XQ20-GⅠ 扩展型激光平面干涉仪

产品介绍：

   XQ20-GⅠ型激光平面干涉仪主要用于精密光学平面的平面度测量，光学平板的微小楔角测量,光学材料均匀性测量,配置相应的工作台可实施光学薄板波前误差的测量。是光学元件加工厂、光学仪器生产厂的光学检测仪器。

   此型号仪器采用大工作室移动检测方案，解决大口径高精度平面加工在线检测难题；采用隐形布帘式围板,既可保证高精度测量的需要又可实现大批量生产车间大口径工作盘流水快速的筛选测量;运用高分辨率的摄像系统及显示系统,减轻了操作人员的劳动强度,检测直观方便;运用经济合理的简化结构,既保证仪器应有的测量精度又降低了制造成本,为中低精度大批量生产厂家实现非接触快速测量创造了条件。

技术参数：

1．标准平面（A面），工作直径D1=Φ200mm，平面的面形偏差小于0.045μm(λ/15)

2．第二标准平面（B面），工作直径D2=Φ200mm，平面的面形偏差小于0.045μm(λ/15)

3．准直系统…………………………工作直径Φ200mm ，焦距 f = 580mm，波象差<λ/15

4．工作室尺寸…………………………1100×1100×350mm 可测量范围800mm×800mm(移动)

5．光源规格……………………………………激光ZN250（He－Ne）（632.8nm）。

6．仪器的外形尺寸……………………………… 1400×1250×1560mm(高)

7．仪器质量…………………………………………500kg