AIM 有源倒磁控管真空计 爱德华edwards AIM-X 有源倒磁控管真空计
Edwards 有源倒磁控管真空计 (AIM) 在一个紧凑的有源装置中包含规头和控制电路。从科学仪器到工业制程的多种应用场合,均已证明这些真空计坚固可靠。
概述
Edwards 有源倒磁控管真空计 (AIM) 在一个紧凑的有源装置中包含规头和控制器。从科学仪器到工业制程的多种应用场合,均已证明这些真空计坚固可靠。
此真空计具有线性输出,易于与计算机或 PLC 结合使用。
此真空计具有线性输出,易于与计算机或 PLC 结合使用。
应用
适用于处于 1 x 10-2 to 1 x 10-9 mbar 范围内的所有需要可靠稳定的压力指示的真空应用。典型制程包括从一般真空到工业镀膜机和熔炉再到科学仪器和半导体等各种应用。
技术数据
压力范围 | |
AIM-X | 10-2 至 10-9 mbar |
准确度* | 通常为 ±30% |
Z大过压 | 10 bar (145 psi) |
电源供给 | +13.5 至 +36 V 直流(Z大 1 V 波动) |
功耗 | 2 W(Z大) |
输出信号 | 2 至 10 V 直流 |
设定点 | 开路集电极晶体管 |
Z大电压 | 40 V 直流 |
电流 | 100 mA(Z大) |
温度范围 | |
工作 | +5 至 +60°C |
存储 | 0 至 +70 °C |
暴露于真空中的材料 | |
NW25 型 | 不锈钢 304/306/347、氟橡胶、玻璃 |
内部体积 | 26 cm3 |
重量 | 0.81 kg |
外部接口连接器 | 8 路 FCC68/RJ45 插座 |
真空接头 | NW25 |
标准 | |
电磁兼容性 | EN 61326 |
(B 类排放) | |
外壳等级 | IP40 |
* 准确度在测量范围极限处会降低