加热式电容膜片真空计EdgeTM CDG100D2

加热式电容膜片真空计EdgeTM CDG100D2

INFICON  Edge电容膜片真空计是专为恶劣制造环境设计

的高精度真空测量仪器。成熟的控温、防腐蚀、超纯陶瓷

传感器能长期提供出众的量程稳定性，而且具有

的雾位稳定性。Edge 随附INFICON 已获传感

器屏蔽，用于保护真空计，使其免受不需要的过程副产品

的影响。先进的电子元件能为所有应用提供范围广泛的可

配置信号调节，另外还有EtherCAT 现场总线接口可供选

择。创新的加热概念能够使接触表面保持低温，并节约宝

贵的工具空间。INFICON  Edge是同类产品中最小的真空

测量仪器。

优势

·紧凑型，节省宝贵的工具空间

·易于集成， EtherCAT,  各种满刻度和法兰，标配两个

设定点

·轻松一键调零或远程信号调零指令，可调零点偏移

·诊断端口用于快速维修和维护

·两年保修服务，先进的加热概念和真空计保护延长了使

用寿命

·信号稳定性和可重复性，即使是最严苛的等离子

应用，都无需长期执行重新校准

·合规和标准： CE、EN、UL、SEMI、RoHS

应用范围

·CVD、 蚀刻、PVD 及其他半导体生产过程

EdgeTM CDG100D2

订购资料

1)    优化的压力控制信号滤波器设置

2)  不能使用现场总线接口

粗体=标准产品

其他法兰类型可按要求提供。

EdgeTM CDG100D2

规格

1) 在25°℃环境运行温度下表现为非线性、滞后、再现性，运行两小时后无温度效应

2) 环境温度>40°℃,可能会使表面温度高于SEMI S2合规水平—标记“小心烫伤!”

3) 增加10.…90% FS

4) 18%Cr、10%Ni、3%Mo、69%Fe

EdgeTM CDG100D2

EdgeTM CDG100D2

尺寸mm(inch)