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硅烷纯度分析氦离子气相色谱仪

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  • 公司名称上海华爱色谱分析技术有限公司
  • 品       牌
  • 型       号GC-9560-HG
  • 所  在  地
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2022/12/5 11:54:52
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上海华爱色谱分析技术有限公司系气体标准化技术委员会委员,气体标准化试验研究与验证-色谱平台,半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会委员,中国工业气体协会理事单位,中国工业气体协会气体分析技术及仪器设备专业委员会副主任委员单位,公司致力于工业气体和电力系统两大领域的专用色谱仪的研发和生产,为国内的专用色谱制造商。华爱色谱自2004年成立以来,先后参与了近百项《国家标准》和1项《企业标准》的制修订工作,截止2020年9月已有51项正式颁布实施;在气相色谱生产和应用领域,华爱色谱拥有数十项技术,先后承担过国家创新基金、重点新产品计划、火炬计划、成果转化等多项国家和上海市的科技项目, 座落于黄浦江畔的生产车间,具备完善的管理制度和*的生产环境,2008年通过ISO9001国际质量管理体系认证;拥有GC-9560系列实验室气相色谱仪、HA-9660在线式气相色谱仪、GC-9760便携式气相色谱仪三大系列,二十余种产品,可配备FID、TCD、FPD、PDD、PED、ZrO2等各种检测器。 华爱色谱用于高纯气体和电子工业用气中痕量杂质检测的色谱仪设备,现已广泛应用于Air Liquide(液化空气)、Linde(林德集团)、Air Products(空气化工)等国际企业;光明化工研究设计院、黎明化工研究设计院、中国计量科学研究院、中国电科院、大连化学物理研究所、理化技术研究所等科研机构;盈德气体、苏州金宏、福建久策、南大光电、佛山华特、中船重工、宝钢集团、首钢集团等国内企业。
色谱仪
PDHID对硅烷中气体杂质检测限(ppb) H2 O2 Ar N2 CO CH4 CO2 C2 C3 SimHn 50 50 50 50 20 20 20 20 50
硅烷纯度分析氦离子气相色谱仪 产品信息
  • 产品描述

电子工业气体:
高纯度硅烷气体杂质组份的检测
一,GC-9560-HG硅烷纯度分析氦离子气相色谱仪的应用领域:
硅烷在大规模集成电路(LSI)、超大规模集成电路(VLSI)和半导体器件制造中,用于气相外延生长、化学气相淀积等工艺(工序)。
1. 外延(生长)混合气 在半导体工业中,在仔细选择的衬底上选用化学气相淀积的方法,生长一层或多层的材料所用的气体叫做外延气体。常用的硅外延气体有二氯二氢硅、四氯化硅和硅烷等。主要用于外延硅淀积,多晶硅淀积,氧化硅膜淀积,氮化硅膜淀积,太阳能电池和其他光感受器的非晶硅膜淀积等。外延生长是一种单晶材料淀积并生长在衬底表面上的过程。
2. 化学气体淀积(CVD)用混合气 CVD是利用挥发性化合物,通过气相化学反应沉积某种单质或化合物的一种方法,即应用气相化学反应的一种成膜的方法。依据成膜种类,使用的化学气相淀积(CVD)气体也不同。
:硅烷中微量杂质的分析一直是色谱分析的难点。
目前多数采用的热导检测器由于灵敏度有限,很难测定5ppm以下的杂质;火焰离子化检测器和氧化锆检测器是选择性的检测器,只能分析少数几种气体杂质,均不能很好的满足硅烷气体分析的基本要求。
PDHID检测器(脉冲放电氦离子检测器)是一种灵敏度的通用型检测器,对几乎所有无机和有机化合物均有很高的响应,特别适合*气体的分析,是*能够检测至ng/g(ppb)级的检测器。

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