智能制造网APP
智能制造网手机站
智能制造网小程序
智能制造网官微
智能制造网服务号
- 产品介绍
- NavigatorSEM-100高通量（场发射）扫描电子显微镜
聚束科技独立研发并拥有自主知识产权的NavigatorSEM-100高通量（场发射）扫描电子显微镜，通过对成像技术、运动平台、电路控制及智能算法的系统化创新设计，实现了高通量成像，成像速度可达到传统电镜的数十倍以上。其全部采用直接电子探测器的技术方案，成功克服了传统SEM技术在速度、精度和样品损伤等方面的局限性，性地将扫描电镜从传统意义上的纳米“照相机”提升为纳米“摄像机”。同时操作简单，全自动一键换样，7*24小时无人值守运行，全面提升科研效率。 我们将成熟的工业化高通量电镜检测技术应用在生命科学、材料研究、半导体工业、地质资源等领域。尤其在神经生物学3D重构、材料大面积表面分析、半导体反向工程、纳米技术分析等应用领域有显著优势。
肖特基场发射电子枪
SORRILTM复合式电磁物镜系统
光学导航系统
全自动样品交换系统
聚焦跟踪系统
纳米级运动平台
实时运算图像处理服务器
* NavigatorSEM-100详细信息
肖特基场发射电子枪
高亮度的肖特基场发射电子源，确保高倍率下，依旧能高分辨成像
返回
- 特性优势
- 极速成像
- 高质量成像
- 跨尺度大规模成像
- 智能分析
- 操作简单
极速成像
通过创新的硬件和软件设计，实现二次电子与背散射电子双通道同步成像：视频级高分辨成像2×100M像素/秒，6秒钟即可拍摄一张6亿像素清图像（区域：50μm×50μm分辨率:24K×24K ）。相较传统意义扫描电镜，其扫描速度高出一个数量级以上。
高清视频级摄像帧率（2×200帧/秒@512×512，或2×60帧/秒@1024×1024），使其具有实时观测样品动态变化的能力。
- 基本指标
- NavigatorSEM-100高通量（场发射）扫描电子显微镜
| 参数类型 | 参数值 |
| 分辨率 | 1.5nm@1kV 1.2nm@3kV 1.0nm@5kV |
| 加速电压 | 0.1 kV - 12 kV |
| 放大倍数 | 500X - 600,000X(SEM) 1X - 500X(光学) |
| 束斑电流 | 50pA-300nA |
| 图像大小 | 512X512像素-24kX24k像素 |
| 图像采集速度 | 双通道同时采集2×100M 像素/秒 驻留时间(Dwell Time)10纳秒/像素 |
