SS300 扫描电子显微镜

SS300大型钨灯丝扫描电镜是一款高性能钨灯丝扫描电镜，采用全自动样品台，配备仓内红外CCD摄像头，有效监控仓内样品，防止样品与极靴碰撞。

分辨率：3nm (30kV,SE); 5nm(10kV,SE); 8nm(3kV,SE); 4nm(30kV,BSE)

放大倍数：4x ～ 300,000x，连续可调

加速电压：0~30kV ，连续可调

检测器：二次电子图像(SE) ，背散射检测器(BSE)，红外CCD摄像头

电子枪：翻开式预对中钨灯丝，探针束流范围：1pA~2000nA，带束流测量功能

透镜系统：多级高性能锥形透镜系统

扩展接口：样品室提供不少于6个可扩展接口，可外接各类附件和探测器（例如EDS/EBSD/EBIC/CL等）

样品台：五轴全自动样品台同，配备气浮减震系统；承重2kg

样品台行程：X=70mm,Y=50mm,Z=50mm，R=360°, T=-10°～+70°

样品尺寸： 220mm(Diameter) / 50mm(Height)

软件控制：可自动对焦、对中、消像散，图像测距功能，添加尺寸、标注，计算周长、面积，标注箭头、角度等

图像存储格式：BMP, JPEG, PNG, TIFF

真空系统：涡轮分子泵+机械泵；样品室真空度优于6E-4 Pa，含真空测量与显示设备，全自动真空控制，抽真空时间小于5分钟

操控系统： DELL工作站，其配置不低于：5 四核3.2GHz，HD显卡530；DDR4 8G内存；24"液晶显示器；500G高速硬盘；光电鼠标，键盘，轨迹球

尺寸：电子光学镜筒部分： 800×800×1850(mm)
电器柜控制部分： 1340×850×740(mm)

安装环境: 温度15℃~30℃，湿度，小于75%

电源， 200~240V AC, 1KW, 50/60Hz

能谱仪参数：

品牌型号：Oxford 30

大面积电制冷能谱仪1台

该能谱仪为分析型SDD硅漂移电制冷探测器，具有50mm²晶体面积，30mm²有效面积，高分子超薄窗设计，无需液氮冷却，仅消耗电能。

能量分辨率：Mn_Ka处优于129eV，符合ISO 15632:2012标准

元素分析范围: B5～Cf98

具备零峰修正功能，可以快速稳定谱峰，开机后无需重新修正峰位。

元素面分布图分辨率达4096*4096像素；可从面分布图上进行谱图重建。

离子溅射仪参数：

溅射方式：磁控溅射

可选靶材金、铂、金钯合金、银铅、铜、铬、锑等

彩色液晶屏显示，屏幕不小于5英寸；

溅射电流不小于30mA，最小溅射电流不大于3mA，步进量为1mA;

最长溅射时间不小于900秒；

具备电流保护和真空保护功能，在电流过大、真空度较差时保证设备安全；

极限真空优于1Pa；

真空室采用高硅片玻璃φ128×100mm；

可实时显示靶材使用时间和设备工作时间；

可用实时曲线显示溅射电流和真空度。

附件：

配备预对中钨灯丝10根，

  双面导电胶3卷，  

样品台20个，

真空脂1盒，

抛光膏1管，

机械泵油1桶；

附赠电镜专用工具箱1个，含镊子、六角扳手、一字改锥、垫片等专业工具用于扫描电镜的安装和维护。