多晶硅、单晶硅微波、红外复合专用烘干生产线

多晶硅、单晶硅微波、红外复合专用烘干生产线

一、 工艺设备要求

1.1物料特性：

干燥物料名称：多晶硅料。

物料形状：1mm-8mm、8mm-50mm、50mm-150mm 三种规格，不规则形状。

含水率：硅料表面水分，小颗粒的为经过甩干后的水分。

1.2干燥原理及控制点

采用干燥原理：连续式，微波温控干燥。

微波精度控制：≤1％。

温度控制点：多点控温，烘干过程中硅料温度≤120℃。

传动系统：PTFE特氟龙高温布，可变频调速。

输送带回程清理：带自动电动毛刷清扫装置。

微波泄漏量：≤2mW/cm²，测量方法按GB 5959.6-2008中规定执行。

1.3 生产能力

设计生产能力250KG/h，24h连续流水式作业，烘干后需加冷却降温到40℃。

设备配置与功能

设计总功率120kw，微波功率90kw，红外功率90kw，循环冷却水流量约14m³/h，排风量3600m³/h。

设备长16.75m，宽1.4m，高2.2m。

操作柜与微波电源柜同侧布置，操作柜靠近上料端，从操作台处面对设备，设备为右进左出。

设备主体：

设备主体由布料系统、微波抑制器（首尾各一个）、微波腔体、微波发生器、传送装置、排湿冷却系统、下料冷却系统组成。

设备机架整体采用304不锈钢材料制作，微波腔体采用316L不锈钢。

微波腔体长9m、宽1.5m、高0.48m。

布料系统：

采用料仓加直线筛给料装置结合，料仓容积0.15立方。料仓内壁等与硅料接触的部分，使用高纯PU材质内衬，出口处PU内衬需突出壳体30mm以上，防止物料污染。

设备厂家提供合理的上料方式，上料高度与地面距离不超过1100mm，料斗高度根据系统合理设计，布料系统采用下图所示方式：

内蒙古多晶硅生产现场