8.5实验室等离子清洗机

参考价	面议

参考价

面议

具体成交价以合同协议为准

公司名称郑州成越科学仪器有限公司
品牌
型号CY-LP
所在地
厂商性质生产厂家
更新时间2023/5/30 9:21:26
访问次数94

产品标签:

在线询价收藏产品进入展商展台

联系我们时请说明是智能制造网上看到的信息，谢谢!

索取相关资料

公司介绍主营产品

郑州成越科仪是一家专业从事材料研究设备和材料制备设备的高科技公司。我公司的主要热处理产品有：微波烧结炉、真空管式炉、箱式电阻炉、高频感应炉、氧化锆烧结炉、荧光粉烧结炉、晶体退火炉、电池材料烧结炉、旋转管式炉、立式管式炉、CVD管式炉等；其他的产品还有：等离子清洗机、真空手套箱、真空干燥箱、环境模拟测试柜、行星球磨机、高纯石英管、99刚玉管、真空法兰等。如果您正在被国货的产品质量所困扰，选择我们将改变您对国货的某些观念；如果您正在为自己的实验方案的实施而茫然，选择我们将有专业的技术团队为您量身定做！如果您正在为故障设备的售后无人理会而发愁，选择我们一切的问题将由我们负责到底。欢迎来到成越科学仪器，我们有国内Z敬业的工程师团队竭诚为您服务！

展开显示更多内容

实验电炉

产品简介在线询价

简单介绍： 8.5"实验室等离子清洗机是一种等离子体清洗剂或蚀刻装置，直径8.5英寸x 14英寸长石英腔和0 - 80W可变射频功率。8.5"实验室等离子清洗机采用空气、氧气或氩气等离子体对基体或晶圆片表面的纳米级有机污染物进行清洗和去除。在高射频功率下，有机去除率zui高可达20nm /min左右。8.5"实验室等离子清洗机是在外延薄膜沉积前对单晶基体进行预清洁以获得更好的质量的一种的工具。

8.5实验室等离子清洗机产品信息

详情介绍：

8.5"实验室等离子清洗机配有一个直连式双旋真空泵，可对腔体进行抽真空，同时通入氩气等保护气体，适用于对易氧化的物品的清洗。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物，同时也可改变物体表面的性质（如亲水和疏水性等），对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。在单晶材料外延薄膜生长以前对其进行预处理，将对生长具有显著的作用。

8.5"实验室等离子清洗机技术参数：

输入功率	• AC 220V , 50/60 Hz, • 射频功率：80 W Max.（标准） • 真空泵：正常550W,启动750W • 总功率：830W max. • 工作电流≤3A
射频功率	• 射频功率可在0-80W范围内调节 • 射频：13,56 MH • 可选：可根据要求提供300 W射频电源，需额外收费
等离子室	• 8.5" O.D×8.2" I.D×14" L高纯度石英室 • 体积: 12 L • 铰链式前法兰由铝制成 • 2.3”直径（60mm）石英窗口，便于观察 • 屏蔽RF辐射，零RF泄漏
控制面板	• 6”彩色触摸屏，可自动控制所有参数，用于等离子清洁，如真空度，气体流速，RF功率水平和清洁时间。 • 内置一个通道质量流量计（0-500ml /分钟），控制气体流量+/- 0.5 ml / m
真空泵和阀门	• 包含排气过滤器，KF25D适配器和夹具的240 L / m重型旋片式真空泵可立即使用 • *终总压力为50 mTorr
惰性气体	• 可以选择许多惰性气体进行等离子体清洁，如N2，Ar，空气和混合气体，取决于将要处理的材料类型。（不包括在包装内） • 等离子清洁器不得使用
总体尺寸	620 L×600 W×600 H, mm
保证	一年有限保修，终身支持(耐热玻璃室无保修)