紫外曝光机

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公司名称南京盈波光电科技有限公司
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厂商性质其他
更新时间2023/6/15 12:56:19
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公司介绍主营产品

南京盈波光电科技有限公司依托国内科研院所技术，致力于高品质的光电仪器研发，并提供以客户为导向的光学仪器和解决方案。创始人刘教授入选南京321人才计划。公司主营全元素快速检测分析仪、光谱仪、激光器、光学机械，以及各类光电系统和软件的订制服务。在此基础上还可以服务于基础教学，订制教学仪器系统。

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紫外曝光机产品信息

紫外曝光机

型号： MA6
厂家：德国Karl Süss公司

技术指标:
  曝光光源：UV1000
  光源波长：365nm
  光源均匀性：<3.1%
  晶片尺寸：2-6英寸
接触方式：真空，低真空接触, 硬接触，  软接触和接近式接触
对准模式：正和背面两种对准方式
最小线宽：0.5 μm
对准精度:  ±0.5 μm
主要功能及应用范围：
采用紫外光源，制作亚微米(最小线宽0.5 μm)的图形。可用于各种微器件的制作和低维人工结构的形成，如制作下列器件结构：微电子器件，光电子器件，生物传感器，微机电系统，超导电子学器件，磁电子学器件等，也是研究材料在低维度、小尺寸下量子行为的重要辅助工具。
主要附件: 涂胶机；HP8热板；显影机，光学显微镜

关键词：紫外曝光机电子器件涂胶机显影机光学显微镜