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SUSS 二手涂胶显影机 MicroTec ACS200

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  • 公司名称青岛佳鼎分析仪器有限公司
  • 品       牌
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  • 厂商性质其他
  • 更新时间2023/6/18 19:02:14
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青岛佳鼎实验室,坐落于城之向阳地——城阳。自2011年成立之初,便誓将科技之光照耀四方。
十年的时间里,公司因扩展数度搬迁,最后选择接受博士创业园的吸纳并安家落户。与此名交相辉映的是我们30余人的研发团队,也是以博士后为主。这就为我们今后的发展奠定了坚实的基础,使我们在未来的发展中,有底气的大踏步前进。目前,佳鼎实验室已经形成了一站式服务,不仅有实验室分析仪器设备的研发和销售,更有实验室的整体交付。做到了初时毛坯,再见时严谨整洁,随时可以为人类健康贡献自己的力量。
产品服务于各行各业,从科研机构到环境、食品,从医药生物到电子电器。我们从不止步于国内,放眼,我们联合了包括美国赛默飞世尔、日本岛津、在内的多国实验室,并且积累了大量的科研资料,在分析设备的研发领域做了大量的深度工作。
佳鼎实验室坚信以质量为生命,以客户为中心的经营理念,为打造实验室建设规范化而不断奋斗。

SussMicroTecACS200是一种自动光刻胶涂层和烘烤站,具有盒到盒基底操作
SUSS 二手涂胶显影机 MicroTec ACS200 产品信息

Suss MicroTec ACS200 是一种自动光刻胶涂层和烘烤站,具有盒到盒基底操作。它支持在各种基材上旋涂和喷涂光刻胶。该工具提供完整的抗蚀剂涂层功能,包括高达 250 °C 的热板烘烤和背面冲洗自动去除边缘珠。

规格/能力

Gyrset 旋涂和 Alta 喷涂模块。

250 °C 可编程加热板。

自动去除边缘珠和背面冲洗。

使用信息

支持的样本量

晶圆直径:200 毫米(8 英寸)。

支持的小件:是的。

基材厚度:5 毫米。

支持的晶圆直径:

50 毫米(2 英寸)。

75 毫米(3 英寸)。

100 毫米(4 英寸)。

150 毫米(6 英寸)。

200 毫米(8 英寸)。

支持的光掩模尺寸:

125 毫米 x 125 毫米。

150 毫米 x 150 毫米。

典型应用

用于光学图案曝光的光刻胶涂层。

用于掩模生产的光刻胶涂层。

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