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坩埚(样品台)可移动型1200℃管式炉OTF-1200X-S-HPCVD

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  • 公司名称上海绘吉电子科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地上海市
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2023/6/28 9:23:37
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上海绘吉电子科技有限公司主要代理欧、美、日及科学仪器、工业质检仪器及相关消耗品,专业涉及高校、新能源、钢铁行业、科研研究及轻工化工、在国内特别是华东地区具有广泛的客户基础和良好的商业信誉。经过几年的发展,绘吉公司已经在同行业中确立了多方面的好的地位,无论在公司规模、人员素质、经营品种、销售能力和售后服务等各方面获得了同行及用户的广泛认可。 上海绘吉电子科技有限公司从事分析类仪器(荧光光谱仪,质谱仪,粒度仪,真空系列等分析类设备),电池材料制备设备,实验室仪器,理化分析类仪器,微生物仪器,生理仪器及实验室耗材。。上海绘吉电子科技有限公司从事分析类仪器(荧光光谱仪,质谱仪,粒度仪等分析类设备),德国普发真空设备,电池材料制备设备,实验室仪器,理化分析类仪器,微生物仪器,生理仪器及实验室耗材。上海绘吉-德国普发真空Pfeiffer Vacuum-作为的真空技术解决方案的供应商之一。我们不仅拥有全系列的混合轴承及全磁悬浮涡轮分子泵, 同时还拥有各种旋片泵,干泵,罗茨泵,氦气质谱检漏仪,真空规,四级质谱仪等产品以及真空管件和综合真空系统。 从普发1958年发明涡轮分子泵至今, 我们在分析、研发、镀膜、太阳能、半导体和其他工业领域,始终代表着创新的解决方案、高品质、稳定可靠的产品和的服务。公司自1890年创立至今百余年,现有将近2300名员工,20多家分公司遍布,并且在德国、法国、罗马尼亚、韩国设有生产制造基地。随着中国综合国力的提升,产业结构升级,以及对节能减排,科研和高精尖制造工艺的强烈需求,对真空技术的需求也在不断的提升。作为德国 Pfeiffer Vacuum GmbH 的全资子公司,普发真空技术上海有限公司 Pfeiffer Vacuum (Shanghai) Co., Ltd. 于 2007 年正式入驻中国上海,标志着普发真空在中国的业务已经初具规模,以及公司对中国持续增长的信心。公司现坐落于上海市浦东新区世纪公园附近,并且在江苏无锡建有 4000m2 的售后服务工厂。上海绘吉电子科技有限公司获得深圳科晶智达科技有限公司一级代理权,科晶为研究新一代可充电电池,超级电容器与快速储能材料提供最完整的成套解决方案。方案定位于锂电池的研究市场,主要为大专院校、科研院所以及生产企业提供实验室用的小型混压设备和机械加工与测试等一系列产品,提供研发环节所需的电池能源材料制备相关设备产品与成套实验室方案:“混料-烧料-分析-涂层-成型-封装-测试”设备:球磨机、高温高压炉、材料分析仪、涂层机、轧机、切片机、封装机、电池分析仪等。上海绘吉电子科技有限公司成功和进口公司合作。德国普发真空设备,德国布鲁克仪器有限公司,分析仪器有限公司,美国PE公司,美国热电仪器有限公司,天美科技有限公司,岛津,莱卡仪器,日本horriba,梅特勒等进口公司
坩埚(样品台)可移动型1200℃管式炉OTF-1200X-S-HPCVD
坩埚(样品台)可移动型1200℃管式炉OTF-1200X-S-HPCVD 产品信息

 OTF-1200X-S-HPCVD是一款坩埚可炉管内移动(靠步进电机控制)的小型开启式管式炉。炉管直径为50mm,设备工作温度为1200℃。
      设备特点:坩埚通过一步进电机控制炉管,按照设定程序移动,同时坩埚后端安装一热电偶(随坩埚仪器移动),可实时监测样品的温度,意味着可通过移动坩埚的位置,在炉体中准确找到实验所需要的温度,使得实验准确度更高,重复性更强。此款设备可用于多种实验,比如HPCVD(hybrid physical chemical deposition),快速热蒸发,也可用于水平布里奇曼(Bridgman)法来长晶体。

技术参数
高温炉部分

● 炉体设计为开启式,以便于更换炉管

● 工作电源:208 - 240 VAC, 50/60Hz

● 功率为:2KW

● 工作温度:1200℃(<1hr)

● 连续工作温度:1100℃

● 加热区长度:200mm

● 恒温区长度:60mm(+/-1℃ @ 1000 ℃ ) 注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联系

● 炉管:高纯石英管,尺寸50mm O.D x 44mm I.D x 450mm L)(点击图片查看详细资料)

 
温度控制系统

● 采用PID30段程序化控温,其控温精度为+/-1℃

● 控温仪表操作视频

● 设有过热和断偶保护

● 热电偶采用K型热电偶

 
真空密封

● 采用KF结构密封法兰,硅胶密封圈密封

● 法兰上安装有一机械压力表

● 右端法兰与一个真空不锈钢波纹管连接(不锈钢波纹管伸缩幅度为150mm)

● 真空度:10-2Torr(用机械泵抽)10-5Torr(用分子泵抽)

坩埚移动机构&PLC控制

● 一个直径为1/4"的欧米伽铠装热电偶(K型),通过法兰伸入到炉管中,并可随坩埚移动,可实时监测样品的实际温度

● 通过步进电机移动炉管内的坩埚(样品台),行程为100mm,移动精度为1mm

● 通过触摸屏设定坩埚一定的距离和目标位置,坩埚移动速度为180mm/min(更精确的移动速度,可与本公司联系定制,需额外收费)

● 可观察下图,了解坩埚与热电偶的安装方法

 
加热速率和冷却速率 可通过移动样品到已预加热的炉体中来得到的加热速率,也可将样品迅速移除高温的炉体,来得到的降温速率
加热速率
10℃/sec (150℃ - 250℃);
7℃/sec (250℃ - 350℃);
4℃/sec (350℃ - 500℃);
3℃/sec (500℃ - 550℃);
2℃/sec (550℃ - 650℃);
1℃/sec (650℃ - 800℃);
0.5℃/sec (800℃ - 1000℃);
降温速率
10℃/sec (950℃ - 900℃);
7℃/sec (900℃ - 850℃);
4℃/sec (850℃ - 750℃);
2℃/sec (750℃ - 600℃);
1.5℃/sec (600℃ - 500℃);
1℃/sec (500℃ - 400℃);
0.5℃/sec (400℃ - 300℃);
可选配件

● 可选购手动挡板阀(图1)

● 防腐型数显真空计(图4)

● 快速连接法兰,以方便于放置样品(图2)

● 多路质量流量计控制的混气系统,用于CVD和DVD实验(图5)

    
尺寸
质保 一年质保期,终生维护(不含加热元件、炉管和密封圈)
质量认证 ● CE 认证
● 所有电器元件(>24V)都通过 UL / MET / CSA 认证
● 若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国 TUV 认证或 CAS 认证
    
使用注意事项:

● 炉管内气压不可高于0.02MPa

● 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

● 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态

● 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

● 石英管的长时间使用温度<1100℃

● 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)

应用

● 此款设备可用于多种实验,以下列出了几种实验方法

● RTE(快速热蒸发):蒸发料放在坩埚中,放入到炉体中心,基片放在样品台上,样品台与热电偶相连接,然后将样品台移动到理想的位置(此位置温度是实验所需要的温度)

● HPCVD(混合物理化学沉积):与RTE相似,但需配混气系统,对反应气体混合并控制流量,同时也需设定蒸发料的位置(确定蒸发料的蒸发温度)

● 水平布里奇曼(Bridgman)法来长晶体:将样品和籽晶放入到坩埚中,并将坩埚放入到炉体中心位置,然后设定坩埚移动速度,慢慢移动坩埚

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