全谱型ICP光谱仪应用于半导体

性能优势

全自动化设计
整台仪器除了电源开关，仪器所有功能都通过计算机控制，可靠、安全、方便。

蠕动泵
蠕动泵为十二转子四通道全自动设计，蠕动泵转速可根据需求流量设置调节；通过蠕动泵平稳进样和排除废液，确保进样速度与废液排除速度一致，客户可以根据需要适当调节速度，确保进样系统稳定。

气体流量自动控制
进样系统中，载气、等离子气、辅气均采用的质量流量控制器（MFC）来控制，具有流量连续可调、流量稳定等优点，确保了进样系统的稳定，为光源的稳定奠定了坚实的基础。

稳定的全固态射频电源
仪器采用的射频电源为天瑞仪器自主研发的全固态射频电源，具有体积小 输出功率稳定、带有各种保护功能等诸多优点，进一步提高了仪器的稳定性与安全性。

快速准确的全自动匹配功能
负载终端采用天瑞仪器自主研发的全自动匹配技术，具有匹配速度快、精度高等优点，确保了输出功率限度地加予负载，提高了电源的使用效率，从而提高仪器的稳定性，并使得整个点火过程简单方便。

的进样系统
进样系统、稳定，可配备各种雾化器、雾化室，可以配备高盐雾化器、耐氢氟雾化器等，满足客户的各种需求；同时天瑞自主研发的自动进样器让测试操作更加便捷，进一步提高测试效率。

的光学系统
采用中阶梯光栅-棱镜交叉色散方式，的光学优化设计使得光通量化的同时保证了的光谱分辨率；无任何移动光学元件，保证了良好的长期稳定性；杂散光设计配合的光学设计，大大降低了背景光的干扰，进一步提高检出限；的氮气分布式吹扫光室配合的光学元件保证了深紫外区特别是P、S、As等元素的测量。

的波长
智能的自动波长校准算法，无需进行额外的谱峰校正即可进行测量，保证准确测量的同时节约大量的标液和测量时间。

性能的探测器
采用大尺寸CID探测器，、成熟、稳定；大靶面尺寸，像素；165-900nm范围连续覆盖，一次曝光，全谱显示；非破坏性读取(NDRO) 功能，改善了弱分析线的信噪比，提高了结果的准确性，并且数据采集与分析均优于CCD； 的线性动态范围和与生俱来的抗溢出功能确保任意强弱的谱线可在一次曝光内测量并进行分析，同时为选择理想波长提供了灵活性（可选、第三或更次灵敏线来排除干扰）。

超快的测试速度
各分析谱线可以在曝光时间内设置任意合适的积分时段来实现测量的化；可以一次曝光读出所有分析谱线的强度积分值加快分析速度；还可以谱线独立读出，读出时间不超过2ms。

强大的软件分析功能
软件操作方便、直观，具有定性、半定量、定量分析功能，具有仪器诊断优化功能，灵活的全谱研究功能，强大的离线再处理功能，具有科学智能的背景校正、去除干扰的算法功能，让测试变得更加与准确。