溅射蒸碳仪

溅射蒸碳仪

溅射蒸碳仪

技术规格                                         参数                              
主机                              300mm×360mm×380mm（W×D×H）          
副机                              300mm×360mm×140mm（W×D×H）        
真空规                              皮拉尼真空计                              
溅射靶                                二极直流溅射靶 （标配）磁控靶（选配）                                  
靶材尺寸                              Φ50mm×0.1mm（D×H）                
靶材                                  Au(纯度99.99%）                          
蒸发材料                          碳纤维绳                                          
样品室尺寸                          160mm×120mm（D×H），硼硅酸盐玻璃              
溅射面积                          Φ50mm                                          
蒸碳面积                          140mm                                        
高真空度                          ≤4×10-2mbar                                      
溅射大电流                      50mA  （磁控靶100mA）                                            
热蒸发大电流                      100A                                              
溅射定时器时间                      0-360s                                          
热蒸发时间                          0-1s                                                  
微型真空气阀                      可连接φ3mm软管                                        
可通入气体                          多种                                                
溅射高电压                     -1600DCV                                      
热蒸发高电压                     28V                                                
电源                             220V AC,50Hz接地三脚插头                          
机械泵                             2L/S                                                
重量                             40Kg