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GFM 系列气体质量流量计结合一个直线管状传感器和一个限制流体分子的控制器来提供高精度和重复性。流量比率是虚拟化的不受温度和压力变化的影响。实际流量将以工程单位显示在3位数字，90°旋转的液晶显示屏上。本系列可以与GFT系列流量累计器一起以用于需要测定流量累计的场合。GFM系列产品包括一份NIST跟踪记录证书。
规格
介质：与接液部件兼容的清洁气体
接液材质： GFM-1XXX: 阳极氧化铝, 铜, 316不锈钢 和Viton® O型密封圈;
GFM-2XXX: 316不锈钢 和Viton® O型密封圈
精度： 满量程时±1.5%包括线性以上59-77°F (5-25°C) 和5-60psia (0.35-4bar)
重复性： 满量程的±0.5%
反应时间： 实际流量的±2%以内是2秒
输出： 线性0-5VDC和4-20mA
微粒尺寸： 5微米
工作温度： 32-122°F (0-50°C)
电源： ±12VDC
过程连接： 流速≤50L/m压缩接头是1/4 英寸；100和200L/m是3/8英寸；500L/m是1/2英寸；1000L/m是3/4英寸
压力范围： 500psig(34.5bar)
泄漏率： 氦气的1 x 10-7 sccs
显示器： 90°可倾斜，3-1/2数字
认证： CE
型号
| 流量范围 | 流量计 | |
| 铝 | 不锈钢 | |
| 0-10 SCCM | GFM-1101 | GFM-2101 |
| 0-20 SCCM | GFM-1102 | GFM-2102 |
| 0-50 SCCM | GFM-1103 | GFM-2103 |
| 0-100 SCCM | GFM-1104 | GFM-2104 |
| 0-200 SCCM | GFM-1105 | GFM-2105 |
| 0-500 SCCM | GFM-1106 | GFM-2106 |
| 0-1 L/min | GFM-1107 | GFM-2107 |
| 0-2 L/min | GFM-1108 | GFM-2108 |
| 0-5 L/min | GFM-1109 | GFM-2109 |
| 0-15 L/min | GFM-1111 | GFM-2111 |
| 0-30 L/min | GFM-1131 | GFM-2131 |
| 0-50 L/min | GFM-1133 | GFM-2133 |
| 0-100 L/min | GFM-1142 | GFM-2142 |
| 0-200 L/min | GFM-1143 | GFM-2143 |
| 0-500 L/min | GFM-1144 | GFM-2144 |
| 0-1000 L/min | GFM-1145 | GFM-2145 |
流量量程是由当氮气在70°F (21°C)@760mmHg的条件下标定的
附件
GFM系列气体质量流量计
型号GFM-110P,110V电源
型号GFM-220PE,220V电源
型号GFM-CBL4, 3英尺长电缆用于4-20mA输出
型号GFM-CBL5, 3英尺用于0-5VDC输出的延长电缆
型号IO-1,0-5VDC的RS232输入到输出信号调节装置
