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KLOE 微流控芯片光刻机/曝光机 UV-KUB系列

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  • 公司名称北京燕京电子有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地北京市
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2023/8/26 13:52:24
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北京燕京电子有限公司成立于1988年,注册资金2124万元,公司位于北京城东北部酒仙桥的中关村电子城科技园区内,建筑面积2000多平方米,地理位置优越,交通便利。公司成立29年以来,燕京电子一贯秉承"以科技为先导,以服务为根本"的宗旨,为科研院所和生产企业提供*的仪器设备及解决方案,以其良好的企业形象和品牌价值,发展成了业内口碑好的仪器设备服务商之一。 燕京电子一直以"科技"的姿态,将的仪器、技术和解决方案引入国内,并依托于公司强大的技术力量,为客户创造价值,帮助客户成功。目前,公司已经形成多个产品系列,如电子测量仪器、表面物性分析仪器、生命科 学及化学分析仪器、等离子表面处理设备等;产品应用领域包括物理学、光学、材料科学、纳米技术、环境及食品安全等领域;客户覆盖了全国各科研机构、大 学实验室和企业研发机构,与他们建立了长期的合作关系。 燕京电子坚持以客户为导向,强化服务意识,提高服务质量。公司设有市场部和销售部,拥有专业的技术支持团队和商务操作团队,为客户提供专业化的售前、售中、售后服务,地节约客户的资金成本和时间成本,与客户共同发展。公司设有独立测试演示中心,引进了等离子表面处理设备、锁相放大器,信号发生器等样机,为客户提供样机操作演示,样品测试和产品代工服务,满足客户的需求。 北京燕京电子有限公司期待与您的真诚合作!
KLOE微流控芯片光刻机/曝光机UV-KUB系列图片简介法国KLOE公司在光刻方面有着丰富的经验
KLOE 微流控芯片光刻机/曝光机 UV-KUB系列 产品信息

KLOE 微流控芯片光刻机/曝光机 UV-KUB系列


图片

 

简介


法国KLOE公司在光刻方面有着丰富的经验,其研发的UV- KUB系列光刻机是一种基于UV LED的曝光机系统,结构紧凑,可以直接放置在实验台上,能够处理可达直径4英寸的晶圆,兼容硬接触(接触式)或者软接触(接近式)工艺,可自动调整掩膜高度以适应不同的基板厚度,可使用365 nm或405 nm的光源,不需要预热,也不需要单独的冷却单元。另外,UV-KUB系列*的设计,保证了光源的准直性和均匀性,其zui小分辨率可达2μm,发散角小于2°

本系统适用于市面上常用的光刻胶,如AZ系列、Shipley系列、SU-8系列和K-CL系列。


规格参数


 

项目

UV-KUB 2

UV-KUB 3

最小分辨率

2 μm

2 μm

光源波长

365 nm / 385 nm / 405 nm

365 nm

能量密度

25 mW / cm² ± 10 %

30 mW / cm² ± 10 %

热效应升温

< 1°C

< 1°C

曝光时间

1s~18 hours

1s~18 hours

存储程序数量

10个

无限制

对准分辨率

/

 < 3 μm

外形尺寸

260 x 260 x 260 mm³

480 x 480 x 480 mm³

重量

8.2 kg

55 kg

显示屏

彩色触摸屏5.7 inches

彩色触摸屏15.6 inches

 

 

功能图解


UV-KUB 2型光刻机,是国际市场上一款采用UV-LED光源系统的光刻机,其配备了基于LED光源的光学头,使用寿命大大提高,结构小巧,性价比高,非常适合实验室应用。

 

UV-KUB 3是一款带对位功能的UV-LED曝光机,光源为365nm,其触摸屏和CCD相机代替了传统的显微镜及双筒目镜,控制器提供了图像捕获、测量以及对齐坐标的记录等功能,可以实现预对准,这样,用户再通过操作手柄便能方便的进行对准操作。

 

 

 

 

 

 

 

UV-KUB 2 

 

 

 

UV-KUB 3

 

应用系统


微流控芯片

MEMS器件

 

 

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