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半导体冷水机循环制冷机chiller

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  • 公司名称成都中冷低温科技有限公司
  • 品       牌ZONGLEN
  • 型       号
  • 所  在  地成都市
  • 厂商性质生产厂家
  • 更新时间2024/4/10 13:44:15
  • 访问次数168
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成都中冷低温科技有限公司总部位于中国成都,是一家专注于泛半导体温度环境解决方案的创新型高科技公司、专精特新企业、欧盟CE认证企业、ISO9001国际质量管理体系认证企业、知识产权贯标认证企业。

中冷低温主要生产高低温冲击气流仪(ThermoTST热流仪)、接触式冷热冲击机(ATC/TCU)、高低温卡盘(ThermoChuck)、高低温测试台、高压加速老化试验机(PCT)、非饱和高压加速老化试验机(HAST) 、环境应力筛选系统、高低温循环箱、高低温冲击箱、气体制冷机、气体温控器、超低温制冷机。为晶圆、芯片、5G通讯、光模块、集成电路、航空航天、天文探测、电池包、氢能源等领域的可靠性测试提供整套温度环境解决方案和测试服务。

中冷低温设备已出口欧盟、泰国、越南、新加坡、马来西亚等。在天津、上海、苏州、深圳、武汉、重庆、西安设有办事处。



高低温冲击气流仪(ThermoTST热流仪),接触式冷热冲击机(ATC/TCU),高低温卡盘(ThermoChuck),HAST,高压加速老化试验机(PCT),非饱和高压加速老化试验机(HAST) 、环境应力筛选系统、高低温循环箱、高低温冲击箱、气体制冷机、气体温控器、超低温制冷机
半导体冷水机循环制冷机chiller,具有温度稳定性高、温度范围广、故障诊断、外部通信等丰富功能的装置。在半导体制作过程/激光加工机/分析装置/FPD制造装置等用途中成果较多。
半导体冷水机循环制冷机chiller 产品信息

半导体冷水机循环制冷机chiller

主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精ZHUN控制,具有温度稳定性高、温度范围广、故障诊断、外部通信等丰富功能的装置。在半导体制作过程/激光加工机/分析装置/FPD制造装置等用途中成果较多。

本设备采用变频控温方式,提高能效,减少能耗。-20℃下目标制冷量可以达到3600W,满足用户制冷需求。精QUE控温,控温稳定性达到±0.1℃,使用范围广,设定温度:-20℃~80℃。


半导体冷水机循环制冷机chiller

应用于半导体行业蚀刻装置,CMP (工艺机械抛光),实验室精密装置、高精度测试仪器、医美设备、固态激光器、模具温控等。

温控精度(空载时)±0.05℃

触摸屏操作,人机交互界面

连锁控制、可靠性高

定时运转、液面降低、停电复位、防冻功能

温度波动小

占地面积小、保护装置

快速升温/降温、提高生产效率、降低运营成本和保障生产

运行稳定、准确控温


可用选项

省空间、省配线、省配管、省工时、双变频型更节能。

可对应温度稳定性(空载时)±0.05℃。

循环液:氟化液、60%乙二醇水溶液、清水、去离子水(纯水)

冷却方式:水冷式








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