晶圆激光刻号装篮机

1）专业化的晶圆激光刻号打码专用设备，使用于3-6寸晶圆的软打标或硬打标作业。

2）叠片式上料，传送式送片，花篮式收料，自动完成叠片到裝篮过程；

3）支持OCR字符和点阵字符，全自动生产加工；

4）工业级激光器，稳定可靠，免维护；

5）光束质量好，标识精细，可读性好；

6）操作界面友好，PLC全程控制，使用操作方便。

技术规格                        项 目                             单 位                       数 值

加工尺寸                       晶圆尺寸                         inch                      5 英寸

激光器功率                激光器出口处                       W                         20瓦

激光器波长              红外光纤激光器                     nm                     1064纳米

                                     定位精度                         mm                     0.05毫米

                                     重复精度                         mm                     0.02毫米

振镜                          扫描速度                      mm/s                7000毫米/秒

                                    振镜类型                       数字/模拟           高速数字式振镜

专业化的晶圆激光刻号打码专用设备，使用于3-6寸晶圆的软打标或硬打标作业。