自动化高压水多晶硅还原炉钟罩清洗系统

一、系统概述

德高洁自动化高压水多晶硅还原炉钟罩清洗系统主要用于西门子法多晶硅还原炉钟罩(炉筒)内壁的全自动清洗和烘干，该系统由德高洁独立自主研发而成，并注册了实用新型(号：ZL 2011 2 0266650.2)；其工作原理是以水力自驱动三维自动旋转喷头，形成360°的网状喷射表面，完成钟罩内部表面的水力扫射，用专用清洗剂等为主要清洗液，用纯水(去离子水或叫脱盐水)漂洗，用高纯水冲洗，完成清洗过程。其后用经过三级净化(10万级)的纯净空气，梯级加热，保证烘干完的钟罩不再结露，可直接进入生产作业。

二、系统特点

1、技术能力强，设计合理，根据客户需求，总结借鉴国内外还原炉钟罩及其它罐类清洗烘干经验，充分发挥高压水清洗和吸除尘的技术优势，设计出本套系统，实现了还原炉钟罩的全自动清洗和烘干操作。可根据使用方不同还原炉钟罩、车间厂房的情况，能源条件不同，提供个性化设计。

2、设备性能可靠，核心部件、元件和附件。

3、自动化程度高：PLC+触摸屏柔性自动控制系统，实现对还原炉钟罩的自动清洗和烘干同时具有半自动或手动功能。

4、适应范围广：可以在一套系统实现多种型号还原炉钟罩的清洗烘干。

5、节能、环保、安全：提供了预热(余热蒸汽、余热水或油)加热清洗水及干燥空气的方案。全密闭式清洗烘干系统，基本消除了对现场及操作人员的污染。

6、德高洁集团在北京、上海、深圳、成都、西安、武汉均设有分公司及办事处。服务体系网络健全，零配件充足。

三、清洗工艺

还原炉钟罩到位→预清洗→清洗剂(碱液)清洗→漂洗→高纯水冲洗→净化热空气干燥→常温干燥→钟罩吊走。

注：清洗剂的选择对清洗效果和作业安全有直接影响，这方面我公司积累了丰富的实践经验解决闪爆等问题。

四、设备组成

1、高压热水清洗动力装置1套

由高压热水清洗机及附件(1套)，高压水自驱动三维洗罐器(1套)，三维洗罐器升降装置(气动，1套)组成。

2、热风净化烘干机组1套

进风净化等级：10万级。

3、清洗烘干工作台及管道1套

4、电气控制系统1套

采用PLC+触摸屏全自动控制，全套德高洁版控制软件。

注：水和风的加热方式：电加热，蒸汽、余热水或油的热交换器换热。

五、施工条件

1、电源：380V/50Hz，30KW，电缆引至控制柜。

2、蒸汽：压力0.175-0.9Mpa(G)，到接口点。

3、压缩空气：不小于流量3N m³/h，压力0.6~0.75Mpa(G)(气动阀、气缸用气)，接口点。

4、脱盐水：可提供条件，不小于100 L/min，到接口点。

5、纯水：不小于 100 L/min，到接点。

6、清洗剂：NaOH清洗液等，不小于2立方米。

7、占地面积：36~80平米(宽约6~7米，长6~12米)

8、三废处理：洗涤后的含酸或碱液废水、废渣，排放到需方处，由需方自行处理，配排污水(池、槽)沟；清洗和烘干产生的废气做室外排空排放。