iPH半导体严苛系列

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公司名称晟弘节能科技（上海）有限公司
品牌
型号
所在地上海市
厂商性质其他
更新时间2023/12/13 13:49:00
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公司介绍主营产品

晟弘节能科技(上海)有限公司，是致力于空压机及配件销售、安装、维护保养、节能改造服务的现代化公司，其中，晟弘节能科技(上海)有限公司代理品牌"hanbell” 汉钟精机空气压缩机，汉钟专门从事螺杆式压缩机相应技术的研制开发、生产,公司经过多年的发展，在螺杆式压缩机领域拥有雄厚的技术实力。于2007年8月17日汉钟精机(代码002158)中国深圳正式挂牌上市，已成为横跨五大洲的空压机厂家，产品不仅行销国内市场，还远销东南亚、澳洲、美洲等世界各地50多个国家，以自有"HANBELL" 行销。汉钟精机公司拥有将电动机优化设计、智能化控制技术和变频节能技术等综合运用到螺杆式压缩机领域的技术能力，研制出具有节能降耗特点的变频式螺杆压缩机。通过高精密设备、自动化仓储、AGV、完整测试实验室与有效的物流管理、环境安全管理系统的有效运行，保证了汉钟“品质挂帅物超所值”的方针承诺，为工业生产助力!晟弘以”立之以诚，取之以信，全心服务,永续发展。“为理念, 蝎诚提供空压机系列产品与服务满足各行各业需求，为工业气体用户提供解决方案。

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皮带式螺杆空气压缩机

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iPH半导体严苛系列

iPH半导体严苛系列产品信息

产品型号及名称

真空泵Vacuum pump

用途

Etch/Implant/HDP-CVD/SACVD/MOCVD/PECVD/LPCVD/ALD

特点

iPH系列螺杆真空泵能够在广泛的应用领域提供优良的性能，适用于严苛制程。

它优良的性能源自于最短的转子排气路劲和*的转子型线设计。

汉钟型线设计，上海、中国台湾制造；

较之前的版本节能25%，配置有省电模式；

带有加热系统避免制程物沉积；

优化的尺寸，即插即用。

技术指标

Product	Unit	iPH100	iPH200	iPH610	iPH1210	iPH1210H	iPH1220	iPH1820
Dry Pump	m³/h	120	200	120	120	120	200	200
Booster	m³/h	/	/	600	1200	1200	1200	1800
Max.Pumping Speed	m³/h	120	200	700	1100	1100	1250	1850
Ultimate Pressure	Torr	7.5×10^-3	7.5×10^-3	7.5×10^-4	7.5×10^-4	7.5×10^-4	7.5×10^-4	7.5×10^-4
System Power at Ult.	kW	2.1	3.5	2.6	3.0	3.2	4.5	4.7
Inlet	ISO	63	63	100	100	100	100	160
Outlet	NW	40	40	40	40	40	40	40
Dimension(mm)	L	830	830	830	830	830	830	830
	W	400	400	400	400	400	400	400
	H	526	526	780	780	780	780	830
Weight	Kg	280	300	450	455	460	470	530