日本YAMATO雅马拓 DTN430C洁净厌氧高温气氛炉

日本YAMATO雅马拓 DTN430C洁净厌氧高温气氛炉，洁净度100级、氧浓度低于20ppm的气氛炉，主要应用于固化半导体晶圆等。

日本YAMATO雅马拓 DTN430C洁净厌氧高温气氛炉产品特点：

. zui高工作温度360℃和500℃。

. 采用耐热高性能高效过滤器，可在洁净的环境下进行高温烘烤。

. 高气密性的压力箱构造，氧浓度到达时间短，N2 消耗量很低。

. 磁密封保持高气密性，采用水冷机构保护密封部件免受热量影响。

. 可实现快速升温和降温，升降温速率可调节。

. 标准装备有废液回收装置，对气体进行冷却回收。

. 可选型号DTN430C/630C/450C/650C

安全性

. 门检测开关

. 温度过升防止器

. 氧浓度异常安全装置

. 氮气压力检测

. 氮气流量检测

. 冷却水流量检测

. 漏水传感器

. 过电流漏电漏电保护开关;